[发明专利]具有抗菌生物活性MoO3-SiO2纳米晶复合涂层的制备方法有效
| 申请号： | 201710864169.5 | 申请日： | 2017-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN108048807B | 公开（公告）日： | 2019-07-30 |
| 发明（设计）人： | 徐江;孙腾腾;姚凡 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08;C23C14/10 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 贺翔;杨文晰 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 抗菌 生物 活性 moo3 sio2 纳米 复合 涂层 制备 方法 | ||
1.一种具有抗菌生物活性MoO3-SiO2纳米晶复合涂层的制备方法，其特征在于，具体步骤如下：
a.首先利用双阴极等离子溅射Mo-Si层，工艺参数如下：
靶材电压：800V~1000V；
工件电压：250V~350V；
靶材与工件间距：10mm~20mm；
工作气压：25Pa~40Pa；
沉积温度：750℃~950℃；
沉积时间：3.0h~5.0h；
b.其次进行等离子氧化，工艺参数如下：
氧化电压：650V~750V；
工件电压：250V~350V；
氧化温度：450℃~600℃；
工作气压：25Pa~40Pa；
氧分压：0.1Pa~1Pa；
氧化时间：1.0h~2.0h。
2.根据权利要求1所述具有抗菌生物活性MoO3-SiO2纳米晶复合涂层的制备方法，其特征在于，所述靶材为等摩尔质量混合的Mo-Si靶。
3.根据权利要求2所述具有抗菌生物活性MoO3-SiO2纳米晶复合涂层的制备方法，其特征在于，所述工件为316L不锈钢。
4.根据权利要求1所述具有抗菌生物活性MoO3-SiO2纳米晶复合涂层的制备方法，其特征在于，步骤a双阴极等离子溅射的工作气压是指氩气气压。
5.根据权利要求4所述具有抗菌生物活性MoO3-SiO2纳米晶复合涂层的制备方法，其特征在于，步骤b等离子氧化工作气压是指氩气和氧气的混合气压，氩气和氧气的体积比为20:1。
6.根据权利要求1-5之一所述具有抗菌生物活性MoO3-SiO2纳米晶复合涂层的制备方法，其特征在于，步骤a双阴极等离子溅射工艺参数为：靶材电压：950V，工件电压：350V，靶材与工件间距：15mm，工作气压：35Pa，沉积温度：950℃，沉积时间：4h；步骤b等离子氧化工艺参数为：氧化电压：700V，工件电压300V，氧化温度：600℃，工作气压：35Pa，氧分压：1Pa，氧化时间：1.5h。
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