[发明专利]太阳能电池

权利要求书

1.一种太阳能电池，包括基底、发射极层、正面电极和背面电极，其特征在于：

所述发射极层设置在所述基底的上表面，所述发射极层的上表面设有钝化减反层，所述正面电极设置在所述发射极层上表面上并与所述发射极层接触，所述钝化减反层覆盖在所述发射极上表面上不与所述正面电极接触的区域；

所述基底的下方依次设有钝化背反层和所述背面电极，所述背面电极的至少一部分穿透所述钝化背反层，并与所述基底的下表面接触，所述钝化背反层覆盖所述基底下表面上不与所述背面电极接触的区域；

所述钝化减反层和所述钝化背反层含有钽氧化物。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于：所述发射极层设置在所述基底的上表面且与所述基底掺杂极性相反；

所述钝化减反层和所述钝化背反层为单层结构。

3.根据权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于：所述基底与所述钝化背反层之间设有背接触层，所述背接触层的掺杂极性与所述基底的掺杂极性相同；

所述背面电极不接触所述基底的下表面，所述背面电极的至少一部分穿透所述钝化背反层并与所述背接触层的下表面接触，所述钝化背反层覆盖所述背接触层下表面上不与所述背面电极接触的区域。

4.根据权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于：所述基底包括局部扩散背接触区，所述局部扩散背接触区位于所述基底与所述背面电极接触的区域,所述局部扩散背接触区的掺杂极性与所述基底的掺杂极性相同。

5.根据权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于：所述背面电极的包括多个相互独立的子电极，每个所述子电极的至少一部分与所述基底接触；

所述基底在与所述子电极接触的多个区域具有多个局部扩散背接触区,至少一部分所述局部扩散背接触区的掺杂极性与所述基底的掺杂极性相同，至少一部分所述局部扩散背接触区的掺杂极性与所述基底的掺杂极性相反；

掺杂极性与所述基底的掺杂极性相同的所述局部扩散背接触区与掺杂极性与所述基底的掺杂极性相反的所述局部扩散背接触区以相互间隔的方式排列。

6.根据权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于：所述钝化减反层的厚度的上限是120纳米、150纳米或180纳米，所述钝化减反层的厚度的下限是40纳米、50纳米或60纳米；

所述钝化背反层的厚度的上限是120纳米、150纳米或180纳米，所述钝化背反层的厚度的下限是5纳米、10纳米或15纳米。

7.一种太阳能电池的制作方法，包括以下步骤：

步骤1，提供基底；

步骤2，在所述基底的上表面形成发射极层；

步骤3，在所述发射极层上表面形成钝化减反层和/或在所述基底的下表面形成钝化背反层；

其中，步骤3进一步包括：

步骤3.1，沉积含钽反应化合物；

步骤3.2，氮气清洗；

步骤3.3，氧化剂气氛；

步骤3.4，氮气清洗。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，还包括：

步骤3.5，判断所述钝化减反层和/或所述钝化背反层是否到达预定厚度，若判断为否，则跳转到步骤3.1。

9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于：步骤3.1-3.4在同一反应器中进行，在步骤3.1中，通过化合物阀门向所述反应器中供给含钽反应化合物，在步骤3.2和步骤3.4中通过氮气阀门向所述反应器中供给氮气，在步骤3.3中通过氧化剂阀门向所述反应器中供给氧化剂；

在步骤3.1中通过控制所述化合物阀门的开启时长控制所述钝化减反层和/或所述钝化背反层的厚度，所述化合物阀门的开启时长的上限是100毫秒、300毫秒或者1000毫秒，所述化合物阀门的开启时长的下限是5毫秒、10毫秒或者20毫秒；

所述氧化剂阀门开启时长的上限是200毫秒或500毫秒，所述氧化剂阀门的开启时长的下限是10毫秒或50毫秒；

所述氮气阀门开启时长的上限是1000毫秒或2000毫秒，所述氮气阀门的开启时长的下限是100毫秒或500毫秒。

10.根据权利要求7所述的方法，其特征在于：所述步骤3.1的温度的上限是300摄氏度或400摄氏度，所述步骤1的温度的下限是100摄氏度或200摄氏度。

11.根据权利要求7所述的方法，其特征在于：还包括：

步骤3.6，退火；

所述退火的温度为300摄氏度至400摄氏度，所述退火的气氛是氮气、氢气、氩气或者其合成气体。