[发明专利]复合式氦气纯化装置

权利要求书

1.一种复合式氦气纯化装置，其特征在于，包括：

真空罩筒，其具有真空容纳腔，所述真空罩筒上安装有制冷机，所述制冷机具有伸入所述真空容纳腔内的一级冷头和二级冷头；

第一纯化器，其位于所述真空容纳腔中，所述第一纯化器具有依次相连的第一换热器和第二换热器，所述第一换热器靠近所述一级冷头设置，所述第二换热器靠近所述二级冷头设置，所述第一换热器与所述第二换热器之间连接有第三换热器；其中，所述第三换热器的一侧设有加热器；

第二纯化器，其位于所述真空容纳腔中，所述第二纯化器具有与所述一级冷头相连的吸附器安装筒，所述吸附器安装筒内挂接有吸附器，所述吸附器安装筒内填充有冷量传递介质。

2.如权利要求1所述的复合式氦气纯化装置，其特征在于，所述第三换热器具有外壳体及设置在所述外壳体内的换热管，所述换热管与所述外壳体之间形成有进气通道，所述换热管具有出气通道，所述第一换热器与所述第二换热器通过所述进气通道相连通。

3.如权利要求2所述的复合式氦气纯化装置，其特征在于，所述第一纯化器还具有第一入口换热器，所述第一入口换热器具有第一入口换热管及套设在所述第一入口换热管外部的第一入口壳体，所述第一入口换热管与所述第一入口壳体之间形成有第一入口进气通道，所述第一入口换热管具有第一入口出气通道，所述进气通道与所述第一入口出气通道相连通，所述第一入口进气通道与所述第一换热器相连通。

4.如权利要求1所述的复合式氦气纯化装置，其特征在于，所述第一换热器与所述第三换热器之间连接有第一气液分离器。

5.如权利要求1所述的复合式氦气纯化装置，其特征在于，所述吸附器安装筒具有与所述一级冷头相连的冷量传递板，所述冷量传递板的下方密封连接有筒体，所述吸附器位于所述筒体内并通过多根支撑杆连接在所述冷量传递板上。

6.如权利要求1所述的复合式氦气纯化装置，其特征在于，所述第二纯化器还具有第二入口换热器，所述第二入口换热器具有第二入口换热管及套设在所述第二入口换热管外部的第二入口壳体，所述第二入口换热管与所述第二入口壳体之间形成有第二入口进气通道，所述第二入口换热管具有第二入口出气通道，所述吸附器的进气端与所述第二入口进气通道相连通，所述吸附器的出气端与所述第二入口出气通道相连通。

7.如权利要求6所述的复合式氦气纯化装置，其特征在于，所述第二入口进气通道与所述吸附器的入口端之间连接有第二气液分离器。

8.如权利要求1所述的复合式氦气纯化装置，其特征在于，所述第一换热器为盘管换热器或翅片管换热器；所述第二换热器为盘管换热器或翅片管换热器。

9.如权利要求1所述的复合式氦气纯化装置，其特征在于，所述冷量传递介质为氦气。