[发明专利]有机发光二极管的制备方法

权利要求书

1.一种有机发光二极管的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

提供一制备装置，所述制备装置包括一蒸发装置、一蒸镀装置、一导管和一真空泵；所述蒸发装置包括一蒸发室和一第一加热装置；所述第一加热装置用于加热所述蒸发室；所述蒸镀装置包括一蒸镀室、一喷头和一载物台；所述蒸发室通过所述导管与设置于所述蒸镀室内的喷头连接；所述喷头包括一喷头本体和一喷嘴，所述喷头本体具有相对的第一表面和第二表面，所述第一表面设置一第一开口，该第一开口与所述导管的排气端连接，所述第二表面为一第二开口，所述喷嘴设置于所述第二开口处，所述喷嘴包括多个间隔设置的通孔；所述导管的排气端延伸到喷头内部，所述排气端的侧壁和端面均包括多个间隔设置的通孔；所述载物台设置于所述蒸镀室内；所述真空泵与所述蒸镀室连接；

将一基底设置于该蒸镀室内的载物台上，该基底的表面形成有一第一电极，该第一电极远离基底的表面与该喷嘴相对且间隔设置；

通过所述真空泵对所述蒸镀室抽真空；

通过所述第一加热装置加热所述蒸发室，使蒸发室内的有机发光层源材料蒸发；

通过所述导管将蒸发的气体引导至所述喷头，并通过所述喷头的通孔沉积到所述第一电极上形成有机发光层；以及

在该有机发光层上形成第二电极。

2.如权利要求1所述的有机发光二极管的制备方法，其特征在于，所述通过导管将所述蒸发的气体引导至所述喷头的步骤进一步包括通过一第二加热装置对该导管内的气体进行加热。

3.如权利要求1所述的有机发光二极管的制备方法，其特征在于，所述通过导管将所述蒸发的气体引导至所述喷头的步骤进一步包括通过一气体供给装置向所述导管通入惰性气体或N₂，使得导管内蒸发的气体随着所述惰性气体或N₂一起进入喷头内。

4.如权利要求3所述的有机发光二极管的制备方法，其特征在于，所述通过气体供给装置向所述导管通入惰性气体或N₂的步骤之前对该惰性气体或N₂进行预热处理。

5.如权利要求1所述的有机发光二极管的制备方法，其特征在于，所述通过导管将所述蒸发的气体引导至所述喷头并通过所述喷头的通孔沉积到所述第一电极上形成有机发光层的步骤进一步包括通过移动所述载物台移动所述基底。

6.如权利要求1所述的有机发光二极管的制备方法，其特征在于，所述通过所述导管将所述蒸发的气体引导至所述喷头，并通过所述喷头的通孔沉积到所述第一电极上形成有机发光层步骤进一步包括更换所述喷嘴制备不同图案的有机发光层。

7.如权利要求1所述的有机发光二极管的制备方法，其特征在于，在第一电极上形成有机发光层之前进一步形成空穴注入层或空穴传输层中，在所述形成有机发光层之后进一步形成电子传输层或电子注入层。

8.一种有机发光二极管的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

提供一制备装置，所述制备装置包括一蒸发装置、一蒸镀装置、一导管和一真空泵；所述蒸发装置包括一蒸发室和一第一加热装置；所述第一加热装置用于加热所述蒸发室；所述蒸镀装置包括一蒸镀室、一喷头和一载物台；所述蒸发室通过所述导管与设置于所述蒸镀室内的喷头连接；所述喷头包括一喷头本体和一喷嘴，所述喷头本体具有相对的第一表面和第二表面，所述第一表面设置一第一开口，该第一开口与所述导管的排气端连接，所述第二表面为一第二开口，所述喷嘴设置于所述第二开口处，所述喷嘴包括多个间隔设置的通孔；所述导管的排气端延伸到喷头内部，所述排气端的侧壁和端面均包括多个间隔设置的通孔；所述载物台设置于所述蒸镀室内；所述真空泵与所述蒸镀室连接；

将一待镀物设置于该蒸镀室内的载物台上，该待镀物的一表面与该喷嘴相对且间隔设置；

通过所述真空泵对所述蒸镀室抽真空；

通过所述第一加热装置加热所述蒸发室，使蒸发室内的蒸发源材料蒸发；

通过所述导管将蒸发的气体引导至所述喷头，并通过所述喷头的通孔沉积到所述待镀物上形成功能层；以及

在该功能层上形成一第二电极。