[发明专利]有机发光二极管的制备装置

权利要求书

1.一种有机发光二极管的制备装置，其特征在于，其包括：一蒸发装置、一蒸镀装置、一导管和一真空泵；所述蒸发装置包括一蒸发室和一第一加热装置；所述第一加热装置用于加热所述蒸发室，使设置于该蒸发室内的蒸发源材料蒸发；所述蒸镀装置包括一蒸镀室、一喷头和一载物台；所述蒸发室通过所述导管与设置于所述蒸镀室内的喷头连接；所述喷头包括一喷头本体和一喷嘴，所述喷头本体具有相对的第一表面和第二表面，第一表面设置一开口，该开口与所述导管的排气端连接，所述第二表面为一开口结构，所述喷嘴设置于所述开口结构处，所述喷嘴包括多个间隔设置的通孔，所述导管的排气端延伸到所述喷头内，所述排气端的侧壁和端面均包括多个间隔设置的通孔，所述排气端的侧壁上通孔的数量大于等于端面上通孔的数量，所述排气端侧壁上通孔的直径大于等于端面上通孔的直径；所述载物台设置于所述蒸镀室内；所述真空泵与所述蒸镀室连接，用于维持制备装置的真空度。

2.如权利要求1所述的有机发光二极管的制备装置，其特征在于，所述蒸发室与所述第一加热装置间隔设置。

3.如权利要求1所述的有机发光二极管的制备装置，其特征在于，所述蒸发室由一内衬和一外壳组成，所述第一加热装置包括至少一电热丝，该电热丝缠绕于所述内衬的外表面。

4.如权利要求1所述的有机发光二极管的制备装置，其特征在于，进一步包括一设置于导管周围的第二加热装置，用于对该导管内的气体进行加热。

5.如权利要求1所述的有机发光二极管的制备装置，其特征在于，进一步包括一气体供给装置，所述导管与所述蒸发室连接的一端形成一分叉结构，所述气体供给装置通过该分叉结构连接至所述导管，该气体供给装置用于向所述导管通入惰性气体或N₂。

6.如权利要求5所述的有机发光二极管的制备装置，其特征在于，进一步包括一设置于所述分叉结构周围的第三加热装置，用于对通入所述分叉结构的惰性气体或N₂进行预热处理。

7.如权利要求1所述的有机发光二极管的制备装置，其特征在于，所述喷头进一步包括多个扩散板，所述多个扩散板间隔设置于所述喷头内。

8.如权利要求1所述的有机发光二极管的制备装置，其特征在于，所述喷嘴与所述喷头本体拆卸连接。

9.如权利要求1所述的有机发光二极管的制备装置，其特征在于，进一步包括多个蒸发装置、多个导管以及多个喷头，所述多个蒸发装置、多个导管和多个喷头一一对应，用于向所述蒸镀室内提供不同的蒸发源。