[发明专利]一种抗氧化的陶瓷热敏电阻铜电极有效
申请号: | 201710875372.2 | 申请日: | 2017-09-25 |
公开(公告)号: | CN107705942B | 公开(公告)日: | 2019-04-19 |
发明(设计)人: | 汪洋 | 申请(专利权)人: | 江苏时恒电子科技有限公司 |
主分类号: | H01C1/14 | 分类号: | H01C1/14 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 楼高潮 |
地址: | 212434 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 氧化 陶瓷 热敏电阻 电极 | ||
1.一种抗氧化的陶瓷热敏电阻铜电极,其特征在于,包括陶瓷基体,和通过物理气相沉积法沉积在陶瓷基体正反面的厚度为2000-2200nm阻挡层、厚度为3000-3500nm的导电层和厚度为3000-3500nm的防氧化层,所述阻挡层材质为的复合Ti-SiN;所述导电层材质为铜,所述防氧化层材质为复合Cr-Al。
2.根据权利要求1所述的一种抗氧化的陶瓷热敏电阻铜电极,其特征在于,所述物理气相沉积法是阴极电弧蒸发法。
3.根据权利要求2所述的一种抗氧化的陶瓷热敏电阻铜电极,其特征在于,所述复合Ti-SiN制备方法包括以下步骤:将质量比为1:1的SiN和Ti粉末混合均匀,放入直流电弧等离子体蒸发设备中,密封设备后采用真空泵对真空室抽真空,真空度为10-2-10-3Mpa,充入氢气和氩气,阴极电弧蒸发处理,阴极电流为600-700A,处理温度为1000-2000℃,处理时间为2-4小时;得到复合Ti-SiN。
4.根据权利要求2所述的一种抗氧化的陶瓷热敏电阻铜电极,其特征在于,所述铜的粒径为5-15nm。
5.根据权利要求3所述的一种抗氧化的陶瓷热敏电阻铜电极,其特征在于,所述氢气和氩气的体积比为2:1。
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