[发明专利]形状测定装置、形状测定方法、构造物制造方法

权利要求书

1.一种形状测定装置，测定测定对象的形状，其特征在于其具有：

照射部，对测定对象的测定区域照射测定光，前述测定对象具有反复地设置在周方向上的多个凹部和凸部；

摄影部，取得前述测定区域的像；

载台，载置前述测定对象；

坐标算出部，在前述测定光是照射在前述测定区域时根据藉由摄影部所获得的像算出前述测定区域的位置；

旋转移动部，使前述照射部与前述测定对象中的一者相对彼此而移动，使得前述测定区域的位置是在前述周方向上移动；以及

相对移动部，使前述照射部与前述测定对象在前述凸部中的一者的棱线方向上相对移动，

其中，前述照射部照射前述测定光于一方向上，使得藉由前述测定光被形成于前述测定对象上的光切断线与前述周方向及前述凸部中的前述一者的前述棱线方向的两方向交叉。

2.如权利要求1所述的形状测定装置，其特征在于其中，前述旋转移动部与前述相对移动部配置为，是以将前述测定光从第1方向上照射前述测定区域的方式，设定前述照射部相对前述测定对象的相对位置；以及是以将前述测定区域中的前述像从前述凸部的棱线方向对应的第2方向上取得的方式，设定前述摄影部相对前述测定对象的相对位置，其中，前述第2方向是测定部位的凸部或凹部在从前述摄影部观看时不被相邻的凸部遮隐的方向。

3.如权利要求2所述的形状测定装置，其特征在于其中，前述旋转移动部配置为是以使被照射前述测定光的前述测定区域的位置移动于与周方向对应的第3方向的方式使前述照射部与前述测定对象中的一者相对彼此而移动；以及

前述相对移动部配置为是以使移动于与前述凸部的棱线方向对应的第4方向的方式使前述照射部与前述测定对象中的一者相对彼此而移动。

4.如权利要求3所述的形状测定装置，其特征在于其中，前述旋转移动部与前述相对移动部中的一者，将前述载台与前述摄影部的相对位置设定成，在前述测定光投影在包含前述凸部的多个棱线的包络面上时，使得在前述测定区域及其附近前述棱线及前述摄影部的前述第2方向不相交。

5.如权利要求4所述的形状测定装置，其特征在于其中，前述旋转移动部与前述相对移动部中的一者，将前述载台与前述照射部的相对位置设定成，使得前述第1方向是于前述测定光的光束中包含前述测定区域的法线的方向。

6.如权利要求3所述的形状测定装置，其特征在于其中，

前述摄影部，是当因前述旋转移动部而产生的前述测定区域在前述第3方向上位移时生成摄影影像；并且

前述坐标算出部，根据前述摄影影像测定包含多个前述凹部和凸部的多个凹凸形状。

7.如权利要求3所述的形状测定装置，其特征在于其进一步具备：保持前述照射部与前述摄影部的保持部，

其中，前述旋转移动部是使前述保持部与前述测定对象相对移动。

8.如权利要求3所述的形状测定装置，其特征在于其进一步具备关节机构，前述关节机构配置为使前述摄影部和前述照射部能构成为维持彼此的相对位置的同时能绕z轴、绕x轴、绕y轴的至少一个方向旋转。

9.如权利要求8所述的形状测定装置，其特征在于其进一步具备旋转机构，前述旋转机构配置为在前述关节机构与前述摄影部和前述照射部之间以旋转前述摄影部和前述照射部。

10.如权利要求3所述的形状测定装置，其特征在于其中，前述旋转移动部是透过移动控制部控制；并且

前述移动控制部配置为，根据前述旋转移动部的角度位移量控制于前述第4方向上前述移动部的移动量。

11.如权利要求10所述的形状测定装置，其特征在于其中，前述移动控制部是控制成，往前述第3方向的角度位移量当设1旋转为1且设往前述第4方向照射的前述测定光的前述测定区域的尺寸为1时，前述第4方向的移动量相对于前述第3方向的角度位移量的比值是大于1的值。