[发明专利]一种循环冷却的沟槽腐蚀机在审
| 申请号： | 201710877769.5 | 申请日： | 2017-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN107478569A | 公开（公告）日： | 2017-12-15 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 南通华林科纳半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G01N17/00 | 分类号： | G01N17/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 226500 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 循环 冷却 沟槽 腐蚀 | ||
1.一种循环冷却的沟槽腐蚀机，包括沟槽腐蚀机(1)，其特征在于：所述沟槽腐蚀机(1)的一侧固定连接有固定杆(2)，所述固定杆(2)远离沟槽腐蚀机(1)的一端固定连接有冷却装置(3)，所述冷却装置(3)包括外壳(31)、冷却管(32)、冷却泵(33)、冷却管入口(34)和冷却管出口(35)，所述固定杆(2)远离沟槽腐蚀机(1)的一端固定连接有外壳(31)，所述外壳(31)靠近沟槽腐蚀机(1)一侧的上端开设有冷却管入口(34)，所述冷却管入口(34)内固定安装有冷却管(32)，所述冷却管(32)远离冷却管入口(34)的一端固定连接有冷却泵(33)，所述外壳(31)远离冷却管入口(34)的一端开设有冷却管出口(35)，所述冷却管出口(35)内固定安装有冷却管(32)，所述冷却管(32)远离冷却管出口(35)的一端固定连接有冷却泵(33)。
2.根据权利要求1所述的一种循环冷却的沟槽腐蚀机，其特征在于：所述冷却管入口(34)通过第一连通管(4)与沟槽腐蚀机(1)固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种循环冷却的沟槽腐蚀机，其特征在于：所述冷却管出口(35)通过第二连通管(5)与沟槽腐蚀机(1)固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种循环冷却的沟槽腐蚀机，其特征在于：所述沟槽腐蚀机(1)靠近冷却装置(3)的一侧固定连接有连接杆(6)，所述连接杆(6)远离沟槽腐蚀机(1)的一端固定连接有冷却风机(7)。
5.根据权利要求1所述的一种循环冷却的沟槽腐蚀机，其特征在于：所述冷却管(32)为S型，所述外壳(31)的外表面开设有散热格栅。
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