[发明专利]一种大视场高分辨率物镜

权利要求书

1.一种大视场高分辨率物镜，其用于将物平面内的图形成像到像平面内，所述大视场高分辨率物镜从物平面一侧到像平面一侧沿其光轴方向，依次包括第一镜组(G1)、第二镜组(G2)；其特征在于：

第一镜组(G1)、第二镜组(G2)均具有正光焦度，第一镜组(G1)为具有至少2个折射面和至少2个反射面的折反射镜组，且折反射镜组的至少2个反射面的中央部分没有反射特性而能让光线穿过；

物平面发出的光线经过第一镜组(G1)后形成中间像，中间像经过第二镜组(G2)后再成像到像平面，且满足关系式：

1.2＜|Rm|/f1＜2.8式(1)

其中，f1为第一镜组(G1)的组合焦距；Rm为第一镜组(G1)的所有反射面中，曲率半径最小的反射面的曲率半径。

2.如权利要求1所述的大视场高分辨率物镜，其特征在于：第一镜组(G1)中存在分布在其中2个反射面之间的至少1个折射透镜，物平面发出的光线经过第一镜组(G1)后且在形成中间像之前，在第一镜组(G1)内3次通过所述至少1个折射透镜；

最靠近物平面的元件，其靠近物平面一侧的表面上，中央部分具有透过折射特性，周边部分具有反射特性，且中央部分和周边部分具有相同的曲率半径，并满足关系式：

|R1/Rm|＝∞ 式(2)

其中，R1为最靠近物平面的元件，其靠近物平面一侧的表面的曲率半径。

3.如权利要求1或2所述的大视场高分辨率物镜，其特征在于：第二镜组(G2)不包含非平面的反射面，中间像经过第二镜组(G2)后再次成像到无限远处的像平面时，且满足关系式：

0.25＜f1/f2＜1.5 式(3)

0.25＜D2/D1＜1.2 式(4)

其中，f2为第二镜组(G2)的组合焦距；

D2为第二镜组(G2)的最大通光口径；

D1为第一镜组(G1)的最大通光口径。

4.如权利要求1或2所述的大视场高分辨率物镜，其特征在于：中间像满足关系式：

1.2＜|β1|＜3.5 式(5)

其中，β1为第一镜组(G1)的放大倍率。

5.如权利要求1或2所述的大视场高分辨率物镜，其特征在于：中间像满足关系式：

|WD1/Rm|＜0.3 式(6)

其中，WD1为中间像到第一镜组(G1)中曲率半径为Rm的反射面之间的距离。

6.如权利要求1或2所述的大视场高分辨率物镜，其特征在于：所有透镜都采用同一种材料制成。

7.如权利要求1或2所述的大视场高分辨率物镜，其特征在于：所有透镜采用石英或氟化钙晶体一种材料制成；或采用石英和氟化钙晶体两种材料制成。

8.如权利要求1或2所述的大视场高分辨率物镜，其特征在于：所有透镜的表面不包含非球面。

9.如权利要求1或2所述的大视场高分辨率物镜，其特征在于：折反射镜组中所有的折射透镜的中央部分没有通光孔洞。

10.如权利要求1或2所述的大视场高分辨率物镜，其特征在于：反射面的反射特性是在透镜表面附加具有反射功能的薄膜形成。