[发明专利]一种电热驱动双稳态MEMS开关

权利要求书

1.一种电热驱动双稳态MEMS开关，包括正方形基底(11)，其特征在于：正方形基底(11)上垂直分布有V型电热执行器I和V型电热执行器II，V型电热执行器I在一路驱动电路U1控制下驱动第一钩型触头(6)，V型电热执行器II在另一路驱动电路U2控制下驱动第二钩型触头(10)，第一钩型触头(6)和第二钩型触头(10)接触即导通电路，第一钩型触头(6)和第二钩型触头(10)不接触即断开电路，驱动电路U1、驱动电路U2为脉冲电压，驱动电路U1和驱动电路U2有相位差。

2.根据权利要求1所述的一种电热驱动双稳态MEMS开关，其特征在于：所述的V型热电执行器(I)包括三个等间距的第一V型梁(2-1)、第二V型梁(2-2)、第三V型梁(2-3)，第一V型梁(2-1)、第二V型梁(2-2)、第三V型梁(2-3)的两端与第一电极锚点(1-1)和第二电极锚点(1-2)连接，第一V型梁(2-1)、第二V型梁(2-2)、第三V型梁(2-3)的中间由竖直梁(3)贯穿连接，竖直梁(3)的上端与s型导线(8)下端连接，s型导线(8)的上端与导线电极(9)连接；竖直梁(3)的下端与第一柔性梁(4-1)上端连接，第一柔性梁(4-1)下端与杠杆(5)的前端垂直连接，杠杆(5)的前端端头与第二柔性梁(4-2)的下端垂直连接，第二柔性梁(4-2)的上端和锚点(7)连接，杠杆(5)的末端端头与第一钩型触头(6)连接；

所述的V型热电执行器II与V型热电执行器I的不同之处是：V型热电执行器II的第一柔性梁(4-1)与锚点(7)连接，第二柔性梁(4-2)与竖直梁(3)连接，杠杆(5)的末端与第二钩型触头(10)连接，其余组成与连接方式均与V型热电执行器I相同；

所述的第一电极锚点(1-1)、第二电极锚点(1-2)，锚点(7)、导线电极(9)均固定在正方形基底(11)上，其余结构均为悬空可动结构。

3.根据权利要求2所述的一种电热驱动双稳态MEMS开关，其特征在于：所述的第一V型梁(2-1)、第二V型梁(2-2)、第三V型梁(2-3)、第一柔性梁(4-1)、第二柔性梁(4-2)、杠杆(5)、第一钩型触头(6)、s型导线(8)、第二钩型触头(10)均采用硅材料制作。

4.根据权利要求1所述的一种电热驱动双稳态MEMS开关，其特征在于：所述的第一钩型触头(6)、第二钩型触头(10)配合具备自锁功能。

5.根据权利要求1所述的一种电热驱动双稳态MEMS开关，其特征在于：所述的电热驱动双稳态MEMS开关采用MEMS技术制备。

6.根据权利要求2所述的一种电热驱动双稳态MEMS开关，其特征在于：所述的第一V型梁(2-1)、第二V型梁(2-2)、第三V型梁(2-3)间距100um-110um，长1060um-1070um，宽度36um-39um，与水平方向的夹角9°-10°。

7.根据权利要求2所述的一种电热驱动双稳态MEMS开关，其特征在于：所述的第一柔性梁(4-1)、第二柔性梁(4-2)长290um-300um，宽10um-12um，杠杆(5)放大倍数为19-21。