[发明专利]具有侧面微流体通道的全光纤开腔FP式光流体传感器

权利要求书

1.一种具有侧面微流体通道的全光纤开腔FP式光流体传感器，其特征在于：它由两段标准单模光纤(1、3)和空芯光纤(2)组成，所述空芯光纤(2)的腔体与第一标准单模光纤(1)的右端面和第二标准单模光纤(3)的左端面构成FP腔，所述第一标准单模光纤(1)的右端面为FP腔第一反射面，所述第二标准单模光纤(3)的左端面为FP腔第二反射面，空芯光纤(2)和第二标准单模光纤(3)连接处的侧面加工为锥面以形成微流体通道(4)；

其加工方法为：

1)首先将第一标准单模光纤(1)的右端与空芯光纤(2)的左端焊接，其中空芯光纤(2)的内径大于标准单模光纤(1)的纤芯(1-1)直径；接着将空芯光纤(2)的右端与第二标准单模光纤(3)的左端焊接；

2)利用光纤研磨仪倾斜研磨空芯光纤(2)和第二标准单模光纤(3)焊点处的两侧面以加工微流体通道(4)；

3)将第二标准单模光纤(3)的末端(3-2)经过倾斜研磨或粗糙化处理以消除其反射光对FP腔干涉光谱的影响。

2.根据权利要求1所述的具有侧面微流体通道的全光纤开腔FP式光流体传感器，其特征在于：所述空芯光纤(2)的长度为5-1000μm。

3.根据权利要求1所述的具有侧面微流体通道的全光纤开腔FP式光流体传感器，其特征在于：所述第二标准单模光纤(3)的长度为1-100μm。

4.根据权利要求1所述的具有侧面微流体通道的全光纤开腔FP式光流体传感器，其特征在于：所述微流体通道(4)的尺寸通过加工时调节研磨倾角和推进距离来调节。