[发明专利]加快工艺腔室复机的清洗方法

权利要求书

1.一种加快工艺腔室复机的清洗方法，其特征在于，所述清洗方法包括：

步骤S110、执行对所述工艺腔室进行清洗前的准备流程，包括：

步骤S111、加热所述工艺腔室，以使得所述工艺腔室内的温度符合清洗杂质的预设温度；

步骤S112、延时第一预设时间后，对所述工艺腔室进行初步抽真空；

步骤S120、循环执行快速清洗所述工艺腔室的流程，其中，所述循环执行快速清洗所述工艺腔室的流程包括：

设定快速清洗的循环次数和延时时间，所述延时时间包括第二预设时间、第三预设时间、第四预设时间和第五预设时间；

按照循环次数循环执行下述各步骤：

开启快抽阀门，以对所述工艺腔室进行快速抽气；

延时所述第二预设时间；

开启充气阀门，以向所述工艺腔室提供第一清洗气体，其中，所述第一清洗气体包括氮气、氦气和氩气中的至少一者；

延时所述第三预设时间；

关闭所述快抽阀门；

延时所述第四预设时间；

关闭所述充气阀门；

延时所述第五预设时间；

步骤S140、循环执行深度清洗所述工艺腔室的流程，其中，所述循环执行深度清洗所述工艺腔室的流程包括：

步骤S141、控制通入所述工艺腔室内的第一清洗气体流量，使得所述第一清洗气体流量符合预设第一清洗气体流量，以对所述工艺腔室进行深度清洗，和/或，

步骤S142、控制通入所述工艺腔室内的第一清洗气体流速，使得所述第一清洗气体流速符合预设第一清洗气体流速，以对所述工艺腔室进行深度清洗；

步骤S150、执行初始化所述工艺腔室的流程，以完成对所述工艺腔室的清洗。

2.根据权利要求1所述的清洗方法，其特征在于，所述对所述工艺腔室进行初步抽真空的步骤包括：

开启分子泵的抽气阀门，以利用分子泵对所述工艺腔室进行初步抽真空；

初步抽真空完毕后，关闭所述分子泵的抽气阀门。

3.根据权利要求2所述的清洗方法，其特征在于，所述清洗方法还包括在步骤S120和步骤S140之间进行的：

步骤S130、执行过渡清洗所述工艺腔室的步骤，包括：

开启快速抽气阀门，以对所述工艺腔室进行快速抽气；

延时第十预设时间；

关闭所述快速抽气阀门；

延时第十一预设时间；

开启所述分子泵抽气阀门；

延时第十二预设时间，之后进入到所述循环执行深度清洗所述工艺腔室的流程。

4.根据权利要求1或2所述的清洗方法，其特征在于，所述执行初始化所述工艺腔室的流程包括：

对所述工艺腔室再次抽真空；

对所述工艺腔室内的温度进行初始化，使得初始化温度符合预设初始化温度值。

5.根据权利要求4所述的清洗方法，其特征在于，所述预设初始化温度值为0-15℃。

6.根据权利要求1或2所述的清洗方法，其特征在于，所述预设温度为20-120℃。

7.根据权利要求1或2所述的清洗方法，其特征在于，所述预设第一清洗气体流量的范围为大于0小于等于100sccm。