[发明专利]一种基于氧化锌纳米棒阵列/银纳米线/石墨烯多层结构的紫外光探测器织物及制备方法

权利要求书

1.一种基于氧化锌纳米棒阵列/银纳米线/石墨烯多层结构的紫外光探测器织物，其特征在于，包括基底、氧化锌薄膜(2)、氧化锌纳米棒阵列(3)、银纳米线(4)、绝缘层(5)、单层石墨烯薄膜(6)，所述基底为金属丝织物(1)，金属丝织物(1)的金属丝表面沉积均匀致密的氧化锌薄膜(2)，氧化锌薄膜表面垂直方向生长有氧化锌纳米棒阵列(3)，氧化锌纳米棒阵列表面覆盖银纳米线(4)，上述结构上表面的一侧设置绝缘层(5)，单层石墨烯薄膜(6)设置在上述结构的最外层，单层石墨烯薄膜(6)上设置银浆(7)，该银浆与石墨烯直接接触用于引出电极。

2.根据权利要求1所述的基于氧化锌纳米棒阵列/银纳米线/石墨烯多层结构的紫外光探测器织物，其特征在于，所述金属丝织物为单一的银、钛、锌、铝或镍丝织物，金属丝直径为0.025mm～0.5mm。

3.根据权利要求1所述的基于氧化锌纳米棒阵列/银纳米线/石墨烯多层结构的紫外光探测器织物，其特征在于，所述氧化锌薄膜(2)的厚度为50nm～200nm。

4.根据权利要求1所述的基于氧化锌纳米棒阵列/银纳米线/石墨烯多层结构的紫外光探测器织物，其特征在于，氧化锌纳米棒阵列(3)中氧化锌纳米棒的长度为500nm～2μm，直径为50nm～100nm，相邻氧化锌纳米棒的间距为50～100nm。

5.根据权利要求1所述的基于氧化锌纳米棒阵列/银纳米线/石墨烯多层结构的紫外光探测器织物，其特征在于，银纳米线(4)的直径为20nm～100nm。

6.根据权利要求1所述的基于氧化锌纳米棒阵列/银纳米线/石墨烯多层结构的紫外光探测器织物，其特征在于，石墨烯薄膜(6)的方块电阻为300Ω/□～2000Ω/□。

7.一种制造上述紫外光探测器织物的方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1、用异丙醇对金属丝织物超声清洗并干燥，然后用原子层沉积方法在金属丝表面沉积氧化锌薄膜作为种子层，继而用水热法在种子层表面沿垂直方向生长氧化锌纳米棒阵列；

步骤2、配置一定浓度的银纳米线溶液，用抽滤成膜的方式，将银纳米线负载到长有氧化锌纳米棒阵列的金属丝织物表面；

步骤3、转移单层石墨烯薄膜浮于水面，继而用修饰好的金属丝织物从水中捞取石墨烯薄膜，使其覆盖在织物表面，然后烘干，器件便制备完成。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，步骤1中氧化锌薄膜的厚度为50nm～200nm；氧化锌纳米棒阵列中氧化锌纳米棒的长度为500nm～2μm，直径为50nm～100nm，相邻氧化锌纳米棒的间距为50～100nm；所述金属丝织物为单一的银、钛、锌、铝或镍丝织物，直径为0.025mm～0.5mm。

9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，步骤2中银纳米线溶液浓度为0.02mg/mL～1mg/mL,银纳米线直径为20nm～100nm。

10.根据权利要求7所述的的方法，其特征在于，步骤3中石墨烯方块电阻为300Ω/□～2000Ω/□，烘干温度为40～80℃。