[发明专利]一种石英晶体谐振器的加工方法有效
申请号: | 201710891340.1 | 申请日: | 2017-09-27 |
公开(公告)号: | CN107666296B | 公开(公告)日: | 2021-06-18 |
发明(设计)人: | 查晓兵;曾丽军;胡孔亮;陈维彦;刘王斌;胡高俊 | 申请(专利权)人: | 合肥晶威特电子有限责任公司 |
主分类号: | H03H3/02 | 分类号: | H03H3/02;H03H9/05;H03H9/10;H03H9/19 |
代理公司: | 合肥和瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 34118 | 代理人: | 王挺 |
地址: | 230000 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石英 晶体 谐振器 加工 方法 | ||
本发明涉及一种石英晶体谐振器的加工方法。本发明包含如下步骤:S1,晶体分选,分选出角度相同的石英晶体并集中到一起;S2,晶体切割,将分选后所得到的角度相同的石英晶体按照要求切割成晶片;S3,晶片研磨,使用研磨机将切割好的晶片研磨至与所要求频率相符合的厚度;S4,抛光,使用抛光机对研磨后的晶片进行抛光处理;S5,化学腐蚀,将抛光处理后的晶片进行化学腐蚀;S6,晶片镀银,化学腐蚀后的晶片表面分为镀银区和非镀银区,首先将晶体表面的镀银区和非镀银区全部镀银得到镀银层,然后采用刻蚀的方法将非镀银区的镀银层刻蚀掉;S7,封装成型。本加工方法不但加工难度较低,而且无需用酸类清洗,对环境友好程度较高,同时也便于回收银料。
技术领域
本发明属于电子元器件领域,具体涉及一种石英晶体谐振器的加工方法。
背景技术
石英晶体谐振器是用压电石英(即水晶)制成的压电器件,它不仅具有高度稳定的物理化学性能,而且弹性振动损耗极小。与其它电子元器件相比,压电石英晶体还有着很高的频率稳定度和高Q值,使其成为稳定频率和选择频率的重要元器件。
现有技术中,晶片的镀银通常是在上晶片盖掩膜片,晶片不需要镀银的区域被掩膜片盖住,需要镀银的地方裸露出来,然后再进行镀银,这种镀银工艺不但加工难度大,而且掩膜片所覆盖的区域也会产生误差,造成加工精度较低。此外,这种镀银工艺完成后需要对掩膜片进行清洗,而一般清洗均采用污染较大的酸类,清洗后的银也难回收,银料的损耗率较高。
发明内容
为了解决上述问题,本发明的目的是提供一种石英晶体谐振器的加工方法,本加工方法不但加工难度较低,而且无需用酸类清洗,对环境友好程度较高,同时也便于回收银料。
为实现上述发明目的,本发明采用了如下技术方案:
一种石英晶体谐振器的加工方法,包含如下步骤:
S1,晶体分选,使用X光定向仪进行角度分选,分选出角度相同的石英晶体集中到一起;
S2,晶体切割,将分选后所得到的角度相同的石英晶体按照要求切割成晶片;
S3,晶片研磨,使用研磨机将切割好的晶片研磨至与所要求频率相符合的厚度;
S4,抛光,使用抛光机对研磨后的晶片进行抛光处理;
S5,化学腐蚀,将抛光处理后的晶片进行化学腐蚀;
S6,晶片镀银,化学腐蚀后的晶片表面分为镀银区和非镀银区,首先将晶体表面的镀银区和非镀银区全部镀银得到镀银层,然后采用刻蚀的方法将非镀银区的镀银层刻蚀掉;
S7,封装成型。
优选的,步骤S7中,将镀银后的晶片固定在谐振器的基座内,在所述基座的口部烧结金属可伐环,金属可伐环所围成的环状区域内设置有金属盖板,所述金属可伐环和金属盖板之间设有间隙,采用激光缝焊的方式将金属盖板与金属可伐环之间的间隙焊接填满,使得基座、金属可伐环、金属盖板构成一个封闭的空间。
优选的,步骤S7中,所述金属可伐环的上表面覆有镀金层。
优选的,步骤S7中,所述金属盖板与所述金属可伐环之间的间隙大小为0.03mm-0.07mm。
优选的,所述S6中,采用激光刻蚀的方法将非镀银区的镀银层刻蚀掉。
作为本发明的一种优选方案,所述金属可伐环的环内尺寸大于所述基座的环内尺寸,所述金属盖板容纳于金属可伐环的内侧,且所述金属盖板放置在谐振器基座的口部处。
作为本发明的另一种优选方案,所述金属可伐环包括构成一体的内环和外环,所述金属可伐环的顶面成台阶状,且金属可伐环的内环的顶面高度低于外环的顶面高度,所述金属盖板设置在金属可伐环的内环顶面上,所述金属可伐环的外环内壁和金属盖板的外壁之间设有间隙。
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