[发明专利]坩埚加热装置

权利要求书

1.一种坩埚加热装置，包括容纳壳体、开合盖和第一加热件，所述开合盖设置在所述容纳壳体上方，且具有闭合态和敞开态，处于闭合态的开合盖与所述容纳壳体围成加热腔，该加热腔用于容纳坩埚；所述坩埚包括坩埚本体和设置在坩埚本体上方的喷嘴；所述第一加热件位于所述加热腔内，用于对该加热腔中坩埚的坩埚本体进行加热，其特征在于，所述开合盖上设置有通孔，所述开合盖处于闭合态时，所述加热腔内的坩埚的喷嘴位于所述通孔内；所述通孔内设置有第二加热件，该第二加热件用于对处于所述通孔内的喷嘴加热；

所述坩埚还包括设置在所述坩埚本体上方的坩埚盖，所述喷嘴设置在所述坩埚盖上；

所述第一加热件包括第一加热部和第二加热部，所述第一加热部设置在所述容纳壳体上，所述第二加热部设置在所述开合盖上；所述开合盖处于闭合态时，第一加热部环绕加热腔中坩埚的坩埚本体的一部分，第二加热部环绕所述坩埚的坩埚本体的另一部分和所述坩埚的坩埚盖；所述第一加热部和所述第二加热部能够独立控制。

2.根据权利要求1所述的坩埚加热装置，其特征在于，所述坩埚加热装置还包括温度检测机构，用于检测位于所述通孔中的各个喷嘴的温度。

3.根据权利要求2所述的坩埚加热装置，其特征在于，所述坩埚加热装置还包括控制机构，所述控制机构与所述温度检测机构和所述第二加热件相连，用于根据所述通孔中的各个喷嘴的温度控制所述第二加热件的加热温度。

4.根据权利要求2所述的坩埚加热装置，其特征在于，所述坩埚为条形坩埚，每个坩埚包括沿所述坩埚长度方向排列的多个喷嘴，每个喷嘴均对应一个通孔，不同喷嘴对应不同的通孔；同一坩埚的多个喷嘴所对应的通孔中第二加热件相互连接；

所述温度检测结构包括热电偶，位于加热腔中的每个坩埚的至少一个喷嘴所对应的通孔内设置有所述热电偶。

5.根据权利要求1至4中任意一项所述的坩埚加热装置，其特征在于，所述坩埚还包括设置在所述坩埚本体上方的坩埚盖，所述喷嘴设置在所述坩埚盖上；

所述开合盖的用于与所述容纳壳体底壁相对的表面上设置有第三加热件；所述开合盖处于闭合态时，所述第三加热件位于所述加热腔中坩埚的坩埚盖顶面上。

6.根据权利要求1至4中任意一项所述的坩埚加热装置，其特征在于，处于闭合态的开合盖形成开口向下的槽型结构，所述通孔设置在所述槽型结构的顶壁上；所述第二加热部的高度与所述槽型结构的深度一致。

7.根据权利要求6所述的坩埚加热装置，其特征在于，所述开合盖包括第一本体和第二本体，所述第一本体包括第一顶壁和设置在所述第一顶壁上的三个依次相连的第一侧壁，所述第二本体包括第二顶壁和设置在所述第二顶壁上的三个依次相连的第二侧壁；三个第一侧壁中位于中间的一者以及三个第二侧壁中的位于中间的一者均与所述容纳壳体铰接，所述第一侧壁和第二侧壁在所述容纳壳体上的铰接位置相对。

8.根据权利要求1至4中任意一项所述的坩埚加热装置，其特征在于，所述坩埚加热装置还包括至少一个隔热板，以将所述加热腔分隔成多个加热子腔，多个加热子腔沿所述加热腔的长度或宽度方向排列；每个加热子腔均用于设置一个所述坩埚和对该坩埚加热的第一加热件，各个容纳子腔的第一加热件彼此独立地进行加热。

9.根据权利要求8所述的坩埚加热装置，其特征在于，所述隔热板内设置有冷却通道，用于容纳冷却流体。