[发明专利]一种极低半波电压的波导电光强度调制装置有效
| 申请号： | 201710892676.X | 申请日： | 2017-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN107741657B | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 张学娇;徐常志;杨新权;兰枫 | 申请（专利权）人： | 西安空间无线电技术研究所 |
| 主分类号： | G02F1/055 | 分类号： | G02F1/055;G02F1/035 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 张欢 |
| 地址： | 710100 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 极低半波 电压 波导 电光 强度 调制 装置 | ||
1.一种极低半波电压的波导电光强度调制装置，其特征在于，包括基底、光波导、微电极、外加驱动电源(11)；以电光透明陶瓷做基底，以飞秒激光微加工的方法在电光透明陶瓷基底上诱导出光波导和制作微电极，集成为马赫曾德尔电光调制器，微电极分别与外加驱动电源(11)相连；
所述光波导包括第一传输光波导(1)、第二传输光波导(2)、第三传输光波导(3)、第四传输光波导(4)、第五传输光波导(5)、第六传输光波导(6)、调制光波导(7)、第八传输光波导(8)；第一传输光波导(1)分别连接第二传输光波导(2)和第六传输光波导(6)，第二传输光波导(2)和第六传输光波导(6)之间存在夹角，第三传输光波导(3)两端分别连接第二传输光波导(2)、第四传输光波导(4)，调制光波导(7)两端分别连接第六传输光波导(6)、第八传输光波导(8)，第四传输光波导(4)、第八传输光波导(8)交汇于第五传输光波导(5)，第五传输光波导(5)和第一传输光波导(1)在一条直线上，第四传输光波导(4)和第八传输光波导(8)之间存在夹角；
所述第一传输光波导(1)的入口、第五传输光波导(5)的出口分别在电光透明陶瓷两侧端面，第一传输光波导(1)、第二传输光波导(2)、第三传输光波导(3)、第四传输光波导(4)、第五传输光波导(5)、第六传输光波导(6)、调制光波导(7)、第八传输光波导(8)组成的波导结构与陶瓷上表面平行且距离上表面100μm～150μm。
2.根据权利要求1所述的一种极低驱动电压的波导电光强度调制装置，其特征在于：所述微电极包括第一微电极(9)、第二微电极(10)；第一微电极(9)和第二微电极(10)分别设置在调制光波导(7)两侧，并使用银胶连接外加驱动电源(11)。
3.根据权利要求2所述的一种极低半波电压的波导电光强度调制装置，其特征在于：所述调制光波导(7)、第三传输光波导(3)均与第一传输光波导(1)平行。
4.根据权利要求3所述的一种极低半波电压的波导电光强度调制装置，其特征在于：所述第二传输光波导(2)和第六传输光波导(6)之间的夹角小于5度。
5.根据权利要求4所述的一种极低半波电压的波导电光强度调制装置，其特征在于：所述第四传输光波导(4)和第八传输光波导(8)之间的夹角小于5度。
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