[发明专利]微小流体装置

权利要求书

1.一种微小流体装置，其特征在于，具备：

第一基板，具有：多个第一电极；多个驱动元件，与上述多个第一电极分别电连接，并对上述多个第一电极分别进行驱动；第一平坦化树脂层，覆盖上述多个驱动元件；电介质层，覆盖上述多个第一电极；以及第一疏水层，覆盖上述电介质层；以及

第二基板，与上述第一基板对置配置，具有与上述多个第一电极对置配置的至少一个第二电极和覆盖上述至少一个第二电极的第二疏水层，上述第一基板与第二基板之间形成使导电的微小流体横跨上述多个第一电极进行移动的内部空间，

上述多个第一电极设置在上述第一平坦化树脂层上，并且每一个第一电极是遮光金属电极，位于第一平坦化树脂层上以阻挡外部光到达驱动元件，其中，

上述多个第一电极经由设置在上述第一平坦化树脂层的相应接触孔与上述多个驱动元件分别连接，

上述电介质层包含填充上述接触孔的第二平坦化树脂层，并且上述第二平坦化树脂层是不连续层，其没有在覆盖上述多个第一电极的接触孔之外的部分。

2.根据权利要求1所述的微小流体装置，其特征在于，

上述电介质层还包含由无机材料构成的至少一层离子阻挡层。

3.根据权利要求2所述的微小流体装置，其特征在于，

上述至少一层离子阻挡层覆盖上述第二平坦化树脂层。

4.根据权利要求2所述的微小流体装置，其特征在于，

上述至少一层离子阻挡层覆盖上述多个第一电极，上述至少一个第二平坦化树脂层覆盖上述至少一层离子阻挡层。

5.根据权利要求2所述的微小流体装置，其特征在于，

上述第二平坦化树脂层填充在上述多个第一电极之间的空间，并且上述至少一层离子阻挡层覆盖上述第二平坦化树脂层以及上述多个第一电极。

6.根据权利要求1所述的微小流体装置，其特征在于，

上述导电的微小流体是包含磁性粒子的微小流体，

上述微小流体装置还包括：

对上述磁性粒子进行固定化的磁铁，

上述多个第一电极分别由非磁性金属材料形成。

7.根据权利要求1所述的微小流体装置，其特征在于，

上述多个第一电极分别由钼形成。

8.根据权利要求1所述的微小流体装置，其特征在于，

上述第二平坦化树脂层填充在上述多个第一电极之间的空间。