[发明专利]上料除静电装置在审

专利信息
申请号: 201710896813.7 申请日: 2017-09-28
公开(公告)号: CN109570146A 公开(公告)日: 2019-04-05
发明(设计)人: 郭飞 申请(专利权)人: 镇江日泰生物工程设备有限公司
主分类号: B08B6/00 分类号: B08B6/00;H05F3/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 212000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 离子风机 除静电装置 抽风系统 防护网罩 进风口 工作台 上料 正对 工作台台面 固定支架 硅片表面 进风口处 静电吸附 泡沫颗粒 杂物颗粒 出风口 手套 去除 架设 储存
【权利要求书】:

1.上料除静电装置,其特征在于:包括工作台、离子风机、抽风系统和防护网罩,所述离子风机通过固定支架架设于所述工作台上,其出风口正对工作台台面;在所述工作台台面上、正对离子风机下方开设有进风口;在所述进风口处设置有防护网罩;在所述进风口下方设置有用于吸取储存杂物颗粒的抽风系统。

2.根据权利要求1所述的上料除静电装置,其特征在于:所述抽风系统由腔体式结构的吸收仓、金属离心风轮、电容运转异步电动机和接收存储网袋组成,所述存储网袋与所述抽风系统出风口连接。

3.根据权利要求2所述的上料除静电装置,其特征在于:所述存储网袋与所述抽风系统出风口可拆卸连接。

4.根据权利要求1所述的上料除静电装置,其特征在于:所述进风口面积不小于所述离子风机出风口大小。

5.根据权利要求1所述的上料除静电装置,其特征在于:所述防护网罩孔径不小于杂物颗粒大小。

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