[发明专利]一种阵列式大面积冷等离子体发生器

权利要求书

1.一种阵列式大面积冷等离子发生器，其特征在于：其包括：

内电极同轴结构，所述内电极同轴结构包括一内电极、完全包裹所述内电极下端头及外部的绝缘毛细管以及同轴套设于所述内电极外且与其下端齐平的绝缘管；

包裹于所述绝缘管外、高度小于所述绝缘管高度的外电极；

分别套设于所述绝缘管上端开口和下端开口的用于固定所述绝缘管轴向位置的上阀盖和下阀盖；

位于所述上阀盖上部且套设于所述内电极和绝缘毛细管外的导气管；

套设于上述各元件外、起盛装保护作用的管套；

以及设置在所述管套上端、允许所述内电极和绝缘毛细管伸出的上盖。

2.如权利要求1所述的一种阵列式大面积冷等离子发生器，其特征在于：所述内电极同轴结构的数量为一个以上，且各所述内电极同轴结构阵列排布在所述外电极包裹的范围内。

3.如权利要求1所述的一种阵列式大面积冷等离子发生器，其特征在于：所述内电极同轴结构中，所述绝缘管内径大于所述绝缘毛细管的外径。

4.如权利要求1所述的一种阵列式大面积冷等离子发生器，其特征在于：所述外电极呈柱状，其中阵列设置与所述内电极同轴结构的数量、外径及排布位置相应的定位孔。

5.如权利要求1所述的一种阵列式大面积冷等离子发生器，其特征在于：所述上阀盖和下阀盖的表面均设置有若干用于固定所述绝缘管的凹槽，且所述凹槽的数量及直径与所述内电极同轴结构的数量及所述绝缘管的外径相匹配。

6.如权利要求5所述的一种阵列式大面积冷等离子发生器，其特征在于：所述上阀盖上的各所述凹槽的中心处设置有允许所述内电极和绝缘毛细管穿出的中心孔，围绕各所述中心孔均匀间隔设置有若干过气孔；所述下阀盖上设置有供等离子体射流穿出的出口。

7.如权利要求1所述的一种阵列式大面积冷等离子发生器，其特征在于：所述管套侧壁设置有进气嘴和电源接口。

8.如权利要求1所述的一种阵列式大面积冷等离子发生器，其特征在于：所述导气管为两端开口的管形柱状结构，所述导气管的上端面与所述上盖之间、所述导气管的外壁与所述管套内壁之间留有供气体流通的间隙。

9.如权利要求1所述的一种阵列式大面积冷等离子发生器，其特征在于：所述导气管为多孔柱状结构，包含线形进气通道和内部环形气路通道，所述导气管上端面封闭，仅侧壁与所述管套内壁之间留有供气体流通的间隙。

10.如权利要求1所述的一种阵列式大面积冷等离子发生器，其特征在于：所述绝缘管与所述上阀盖、所述下阀盖之间以及所述管套上端与所述上盖的接触面之间均设置有密封圈。