[发明专利]一种三栅组件及含有该三栅组件的离子源

权利要求书

1.一种三栅组件，包括依次平行设置的内栅网（1）、中栅网（2）和外栅网（3），其特征在于：所述内栅网（1）内侧设有内法兰（4），所述内栅网（1）安装于所述内法兰（4）上，所述外栅网（3）外侧设有外法兰（5），所述外栅网（3）安装于所述外法兰（5）上，所述内法兰（4）与所述中栅网（2）之间、以及所述外法兰（5）与所述中栅网（2）之间均夹设有绝缘隔离件（6），所述中栅网（2）上设有用于吸收热变形的应力吸收槽（21），所述中栅网（2）包括本体部（22）、设于本体部（22）外周的环形部（23）、以及多个沿环形部（23）周向均匀设置的齿形连接部（24），各齿形连接部（24）均配置有所述应力吸收槽（21），所述应力吸收槽（21）一端位于所述齿形连接部（24）一侧根部，另一端位于所述环形部（23）内圆周与所述齿形连接部（24）另一侧根部之间，所述应力吸收槽（21）为弧形槽且凸起方向朝向所述环形部（23）内部。

2.根据权利要求1所述的三栅组件，其特征在于：所述齿形连接部（24）上开设有连接孔（25），所述内法兰（4）和所述外法兰（5）通过穿设于所述连接孔（25）中的紧固组件（9）相连，所述紧固组件（9）与所述内法兰（4）、所述外法兰（5）以及所述中栅网（2）之间均绝缘隔离。

3.根据权利要求1所述的三栅组件，其特征在于：其中一个所述齿形连接部（24）开设有用来与电极的导线相连的通孔（241）。

4.根据权利要求1所述的三栅组件，其特征在于：所述内法兰（4）外侧面上设有与所述内栅网（1）厚度相等的外凹槽（41），所述内栅网（1）通过紧固件安装于所述外凹槽（41）内。

5.根据权利要求1所述的三栅组件，其特征在于：所述外栅网（3）内侧面设有与所述外栅网（3）厚度相等的内凹槽（51），所述外栅网（3）通过紧固件安装于所述内凹槽（51）内。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的三栅组件，其特征在于：所述内栅网（1）、所述中栅网（2）和所述外栅网（3）均为平面结构；或均为球面结构。

7.一种离子源，包括内罩（7）、位于内罩（7）内部的放电室（8）、以及位于放电室（8）内的阴极（10）和阳极（20），其特征在于：还包括权利要求1至6中任一项所述的三栅组件，三栅组件中的内法兰（4）与所述放电室（8）紧贴，三栅组件中的外法兰（5）与所述内罩（7）相连。