[发明专利]一种石油加氢催化剂及其制备方法

权利要求书

1.一种石油加氢催化剂，其特征在于，包括多孔硅片载体和催化剂，所述催化剂包括催化剂活性成分和助催化剂，其中，催化剂活性成分直径在50-200nm，为ⅥB族或和Ⅷ族金属元素及其化合物；助催化剂直径在50-200nm，为镧系元素、钛和钒中的任一种；

所述多孔硅片载体通过以下步骤制备：

步骤1：准备硅片，用去离子水超声清洗，干燥；

步骤2：在硅片表层旋转涂覆光刻胶，干燥，重复此过程2-3次，使得光刻胶厚度为0.4-2.5μm；

步骤3：将步骤2所得硅片，采用软烘真空烘干，烘干温度80-120℃，30-60秒；

步骤4：将步骤3所得硅片对准预定图形，通过对准标志对准后，采用KrF氟化氪DUV光源，采用扫描步进投影曝光，光源波长248nm，焦深DOF0.7μm，分辨率0.18～0.25，套刻精度65nm，产能30～60wafers/hour，视场尺寸25×32mm；

步骤5：将步骤4所得硅片浸入酸性溶液中腐蚀，除去二氧化硅，形成空腔结构，空腔深0.5-5μm，直径0.5-2μm；

步骤6：将步骤5所得硅片清洗，除去光刻胶后，再次用去离子水清洗并烘干，即得多孔硅片载体。

2.一种石油加氢催化剂的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1：取直径为50-200纳米的ⅥB族或和Ⅷ族金属元素及其化合物，直径为50-200nm的助催化剂，用无水乙醇洗涤，并干燥；

步骤2：将步骤1所得ⅥB族或和Ⅷ族金属元素及其化合物和助催化剂加入无水乙醇中，超声分散形成胶体；

步骤3：将根据权利要求1所得多孔硅片载体浸入步骤2所得胶体，30-60s后取出，并干燥，即得所述石油加氢催化剂。