[发明专利]一种硅棒生产用几何尺寸测量装置

权利要求书

1.一种硅棒生产用几何尺寸测量装置，包括数控箱（1）、金相显微镜（201）、测控装置（4）和集成检测箱（5），其特征在于：所述数控箱（1）的顶端嵌入设置有第一显示器（101），所述第一显示器（101）的侧面连接有操作按钮（102），所述数控箱（1）的前上端设置有第二显示器（103），所述数控箱（1）的右侧贯穿连接有图像传输线（104），所述图像传输线（104）的另一端连接有集成检测箱（5），所述集成检测箱（5）的正面设置于测控装置，所述集成检测箱（5）的右侧套接有工具箱（504），所述集成检测箱（5）的顶端焊接有顶板（503），所述顶板（503）的中部嵌入设置有显像观察板（501），所述顶板（503）的四个角均固定连接有支撑柱（502），所述支撑柱（502）的顶端连接有观察板（3），所述观察板（3）的左侧通过支撑柱（502）连接有显微镜旋轴（2），所述显微镜旋轴（2）的末端套接有金相显微镜（201），所述测控装置（4）的内部贯穿设置有传输通道（401），所述测控装置（4）的正面设置有隔离板（402），所述隔离板（402）的底部连接有硅棒列位板（403），所述硅棒列位板（403）的两端嵌入设置有数据输出端口（404）；

所述第一显示器与金相显微镜信号连接；所述第二显示器连通集成检测箱。

2.根据权利要求1所述的一种硅棒生产用几何尺寸测量装置，其特征在于：所述第一显示器（101）相对于数控箱（1）可折叠，且所述第一显示器（101）与金相显微镜（201）信号连接。

3.根据权利要求1所述的一种硅棒生产用几何尺寸测量装置，其特征在于：所述硅棒列位板（403）设置有6列，且两端数据输出端口（404）均为可拆卸结构。

4.根据权利要求1所述的一种硅棒生产用几何尺寸测量装置，其特征在于：所述观察板（3）为采用钢化玻璃制作的高透玻璃。