[发明专利]一种集成式超精细光谱筛及其制备方法

权利要求书

1.一种集成式超精细光谱筛，其特征在于，包括若干片各面尺寸、形位精度相同的窄条滤光片，所述窄条滤光片的通光面无瑕疵、双面平行度小于3μm；各个窄条滤光片的涂胶面之间通过树脂粘接集成在一起，所述涂胶面之间对准整齐粘接后重合，所述集成式超精细光谱筛的通光面无台阶状偏差，平面度小于5μm；

各个窄条滤光片上下涂胶面的两侧相同的位置采用光刻技术各设有一个十字型对准标记，上涂胶面的两个十字形对准标记与下涂胶面的两个十字形对准标记在涂胶面垂直方向上俯视重合，所述十字形对准标记使各个窄条滤光片间整齐对准；

所述窄条滤光片的数量至少为八片；

各个窄条滤光片的谱段不同，可配置的谱段范围为400nm-1000nm；

所述树脂为环氧树脂，使所述集成式超精细光谱筛能够耐受正弦振动测试及0～50℃热真空测试。

2.一种制备权利要求1所述的集成式超精细光谱筛的方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一：对各个窄条滤光片进行加工处理，使得各个窄条滤光片的各面尺寸、形位精度相同；

步骤二：检测各个窄条滤光片的厚度，在显微镜下检测加工处理后的各个窄条滤光片，挑选出通光面无瑕疵、双面平行度小于3μm的窄条滤光片，擦拭干净；

步骤三：选择平面度小于3μm的基准靠面，当前片窄条滤光片的通光面与所述基准靠面贴合的同时滑入预定位置，在当前片窄条滤光片的上涂胶面均匀涂覆环氧树脂：在窄条滤光片的涂胶面上贴合放置镂空薄片，镂空缝隙的中心线与窄条滤光片涂胶面的中心线重合，通过注胶头将环氧树脂涂满所述镂空缝隙后将所述镂空薄片取下，所述镂空缝隙的宽度小于所述涂胶面宽度的1/10，控制环氧树脂的涂覆量使窄条滤光片之间压实贴合后无溢胶；

下一片窄条滤光片的通光面与所述基准靠面贴合的同时滑动，使下一片窄条滤光片的下涂胶面与当前片窄条滤光片的上涂胶面整齐对准后滑落贴合，在下一片窄条滤光片的上涂胶面均匀涂覆环氧树脂；

重复下一片窄条滤光片的对准、贴合、涂胶过程，完成所有窄条滤光片的粘接集成，最后一片窄条滤光片的上涂胶面不再涂覆环氧树脂；

在所述步骤三之前，还包括以下步骤：

在各个窄条滤光片上下涂胶面的两侧相同的位置采用光刻技术各加工一个十字型对准标记，上涂胶面的两个十字形对准标记与下涂胶面的两个十字形对准标记在涂胶面垂直方向上俯视重合，所述十字形对准标记使各个窄条滤光片间整齐对准，实现长度方向上的一致性；

在显微镜下进行涂胶面的十字形标记对准使得窄条滤光片之间整齐对准。