[发明专利]用于太阳电池的三氯氧磷扩散源瓶在审
| 申请号： | 201710907763.8 | 申请日： | 2017-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN107723801A | 公开（公告）日： | 2018-02-23 |
| 发明（设计）人： | 谷香梅 | 申请（专利权）人： | 谷香梅 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 210000 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 太阳电池 三氯氧磷 扩散 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于太阳电池的三氯氧磷扩散源瓶，其特征在于：包括恒温槽、衬套、源瓶本体，所述恒温槽内侧表面设有衬套，源瓶本体设置在恒温槽内，所述源瓶本体上方设有进气口、出气口，进气口通过进气管与源瓶本体连接，所述进气管伸入源瓶本体底部，进气管底端连接开有孔洞的环形扩散管，所述出气口通过出气管与源瓶本体连接，进气管上设有气流调节阀，源瓶本体侧壁设有若干个气流喷嘴。
2.按照权利要求1所述的用于太阳电池的三氯氧磷扩散源瓶，其特征在于：所述源瓶本体上设有刻度。
3.按照权利要求1所述的用于太阳电池的三氯氧磷扩散源瓶，其特征在于：所述环形扩散管直径为源瓶本体截面直径的2/3。
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