[发明专利]PCB层间对准度监控方法在审

专利信息
申请号: 201710908049.0 申请日: 2017-09-29
公开(公告)号: CN107666768A 公开(公告)日: 2018-02-06
发明(设计)人: 张金才;陈志新;张亮;吴建明;龚德勋 申请(专利权)人: 奥士康科技股份有限公司
主分类号: H05K1/02 分类号: H05K1/02;H05K3/46
代理公司: 长沙明新专利代理事务所(普通合伙)43222 代理人: 徐新
地址: 413000 湖南*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: pcb 对准 监控 方法
【权利要求书】:

1.PCB层间对准度监控方法,其特征在于,包括以下步骤:

(一)设计层间对准度监控模块,具体内容如下:

(1)内层芯板每层设计同心圆;

(2)制作内层芯板同心圆,L4/5制作同心圆,L6/7制作同心圆,至压合将芯板压成L4-L7,并制作L4/7制作同心圆;

(3)完成L4/7的图形制作后至压合将芯板压成L3-L8,并制作L3/8同心圆;

(4)完成L3/8的图形制作后至压合将芯板压成L2-L9,并制作L2/9同心圆;

(5)完成L2/9的图形制作后至压合将芯板压合L1-LA,并完成L1/A同心圆;

(二)将制作好的同心圆进行观测,若L1/A同心圆偏移,即说明L1与LA层偏,若L1/A与L2/9同心圆偏,说明L1/A与L2/9偏移,按此类似方法,看出各层之间的偏移,以完成层间对准度监控。

2.根据权利要求1所述的PCB层间对准度监控方法,其特征在于,步骤(1),同心圆尺寸线圈宽0.3mm,线圈与线圈之间间隔0.05mm。

3.根据权利要求1或2所述的PCB层间对准度监控方法,其特征在于,将制作好的同心圆使用X-Ray观测。

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