[发明专利]一种铜纳米纤维及其制备方法、显示面板

权利要求书

1.一种铜纳米纤维，包括铜纳米纤维本体，其特征在于，所述铜纳米纤维本体的外表面设有铝掺杂氧化锌层以及在所述铝掺杂氧化锌层远离所述铜纳米纤维本体的一侧设有钝化层。

2.根据权利要求1所述的铜纳米纤维，其特征在于，所述钝化层为氧化铝层。

3.根据权利要求1所述的铜纳米纤维，其特征在于，所述钝化层为金金属层、银金属层或铂金属层。

4.根据权利要求1-3之一所述的铜纳米纤维，其特征在于，所述钝化层的厚度为0.5nm-5nm。

5.根据权利要求4所述的铜纳米纤维，其特征在于，所述钝化层的厚度为1nm-2nm。

6.根据权利要求1-3之一所述的铜纳米纤维，其特征在于，所述铝掺杂氧化锌层的厚度为5nm-30nm。

7.一种显示面板，其特征在于，包括电极，所述电极包括如权利要求1-6中任一项所述的铜纳米纤维。

8.一种如权利要求1所述的铜纳米纤维的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：

通过原子层沉积法在所述铜纳米纤维本体外表面形成所述铝掺杂氧化锌层；

然后再通过原子层沉积法在所述铜纳米纤维本体的铝掺杂氧化锌层上形成所述钝化层。

9.一种如权利要求8所述的铜纳米纤维的制备方法，其特征在于，在所述铜纳米纤维本体外表面形成铝掺杂氧化锌层的方法为：

以二乙基锌和去离子水作为前驱体源，在100-200℃温度下，对铜纳米纤维本体进行锌循环10-35次；

然后以三甲基铝和去离子水作为前驱体源，在100-200℃温度下，对铜纳米纤维本体进行铝循环1-5次。

10.一种如权利要求8所述的铜纳米纤维的制备方法，其特征在于，所述钝化层为氧化铝层，在所述铜纳米纤维本体的铝掺杂氧化锌层上形成氧化铝层的方法为：

以三甲基铝和去离子水作为前驱体源，在100-200℃温度下，对所述铝掺杂氧化锌层进行铝循环3-15次。