[发明专利]一种绿色高效的靶材与背板钎焊装置及方法

权利要求书

1.一种绿色高效的靶材与背板钎焊装置，其特征在于，所述靶材与背板钎焊装置包括焊接加热台、焊料加热装置、激光扫描加工装置和钎焊加压部件；其中，在焊接加热台焊接工作区上方设有激光扫描加工装置，焊接加热台下面连接加热控制器；焊接加热台上面的正对激光扫描头处放置靶材与背板；在焊接加热台的一侧设有焊料加热装置，配套的钎焊加压部件在靶材与背板贴合冷却时放置其上对进行压合；所述激光扫描加工装置由激光器分别连接光路传输系统和光路运动控制系统，二者再分别连接激光扫描头的相关接口组成。

2.根据权利要求1所述一种绿色高效的靶材与背板钎焊装置，其特征在于，所述激光扫描头采用二维振镜扫描系统或者三维动态聚焦振镜扫描系统。

3.根据权利要求1所述一种绿色高效的靶材与背板钎焊装置，其特征在于，所述焊料加热装置由焊料加热控制器与焊料加热容器连接组成。

4.根据权利要求1所述一种绿色高效的靶材与背板钎焊装置，其特征在于，所述靶材包括Al、Ti、Mo、Co、W、Ta及合金或其化合物材料。

5.根据权利要求1所述一种绿色高效的靶材与背板钎焊装置，其特征在于，所述焊料为铟及其合金、锡及其合金。

6.一种基于绿色高效的靶材与背板钎焊装置的钎焊方法，其特征在于，利用集成化激光辅助钎焊装置，实现对靶材与背板的在线清洗、织构化处理，完成清洁无污染、快速的高可靠钎焊连接；包括以下步骤：

1)将待焊接的靶材和背板放置在加热平台上进行加热；同时将焊料放置在容器中在加热器上加热熔化；

2)采用激光对放置在加热台上的待焊接的靶材和背板表面扫描加工，先对焊接区域进行激光扫描清洗去除氧化皮和油脂污染物，再进行表面织构化处理；

3)激光处理完，立刻将液态焊料从盛放的容器中倾倒在激光处理的表面上，焊料在焊接表面铺展覆盖全部激光加工区域；

4)将焊接面铺有焊料的靶材按照焊接位置要求贴合在铺有焊料的背板表面，压合冷却到室温。