[发明专利]Bi2FeMo1-xNixO6双钙钛矿铁电薄膜及其制备方法

权利要求书

1.一种双钙钛矿铁电薄膜材料，其特征在于：

所述双钙钛矿铁电薄膜材料的化学式为Bi₂FeMo_1-xNi_xO₆；

其中，0＜x≤0.5。

2.权利要求1所述的双钙钛矿铁电薄膜材料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：制备Bi₂FeMo_1-xNi_xO₆的稳定胶体；

S2：将所述S1制备得到的产物进一步制备得到所述Bi₂FeMo_1-xNi_xO₆铁电薄膜。

3.根据权利要求2所述的双钙钛矿铁电薄膜材料的制备方法，其特征在于：

所述S1具体包括：

S101：将硝酸铋和乙二醇甲醚混合均匀，直至所述硝酸铋完全溶解，得到第一混合物；

S102：将乙酸镍和乙二醇甲醚混合均匀，直至所述乙酸镍完全溶解后冷却，得到第二混合物；

S103：在所述第一混合物中加入硝酸铁并搅拌均匀，待硝酸铁完全溶解后加入所述第二混合物；

S104：在所述S103得到的产物中加入柠檬酸并搅拌均匀，待所述柠檬酸完全溶解后加入钼酸铵并搅拌第一预设时间，直至得到稳定的暗红色澄清透明胶体，即Bi₂FeMo_1-xNi_xO₆稳定胶体；

其中，所述钼酸铵与所述乙酸镍摩尔比为(1-x)：x。

4.根据权利要求2所述的双钙钛矿铁电薄膜材料的制备方法，其特征在于：

所述S2具体包括：

S201：在Si基片上旋涂所述Bi₂FeMo_1-xNi_xO₆稳定胶体，形成Bi₂FeMo_1-xNi_xO₆湿凝胶膜；

S202：将所述Bi₂FeMo_1-xNi_xO₆湿凝胶膜进行热处理，之后得到所述Bi₂FeMo_1-xNi_xO₆膜；

S203：将所述Bi₂FeMo_1-xNi_xO₆膜进行热处理，之后得到Bi₂FeMo_1-xNi_xO₆铁电薄膜。

5.根据权利要求4所述的双钙钛矿铁电薄膜材料的制备方法，其特征在于：

所述S202中，所述热处理依次包括第一、第二和第三热处理；

其中，

第一热处理的温度为150℃，时间为5min；

第二热处理的温度为400℃，时间为10min；

第三热处理的温度为600℃，时间为3min。

6.根据权利要求5所述的双钙钛矿铁电薄膜材料的制备方法，其特征在于：

重复所述S201和所述S202中的操作，直至所述Bi₂FeMo_1-xNi_xO₆膜的厚度大于或等于400nm。

7.根据权利要求4所述的双钙钛矿铁电薄膜材料的制备方法，其特征在于：

所述S203中，所述热处理的温度为700℃～730℃，时间为10min。

8.根据权利要求4所述的双钙钛矿铁电薄膜材料的制备方法，其特征在于：

所述S201中，所述旋涂具体包括：旋涂转速为2900r/min～3100r/min，旋涂时间为20s。