[发明专利]等速率升降温烘箱

说明书

技术领域

本发明涉及烘烤设备领域，尤其涉及一种等速率升降温烘箱。

背景技术

传统的半导体行业中晶圆油墨涂布后固化，液晶显示屏玻璃清洗烘干、线路烤固等精密制程所使用的烘烤设备的工作区、进风区和排风区均未设置感温装置，从而不能稳定的等速升温、降温，导致烘烤质量不高。

发明内容

本发明的目的是，提供一种等速率升降温烘箱，可实现高稳定的等速率升温和降温，等速率数值可自动调整，升温和降温等速率智能自动控制，提高烘烤质量。

为实现该目的，提供了一种等速率升降温烘箱，包括冷气柜、电控柜和位于冷气柜、电控柜之间的烘烤工作柜，冷气柜内设有依次连接的强制进风机、空气过滤组、热交换组，电控柜内设有控制系统，烘烤工作柜内的上部设有排风系统、中部设有循环风机和加热系统、下部为烘烤工作区，排风系统一侧通过管道连接至热交换组，排风系统的另一侧连接有进风管，进风管的末端与烘烤工作柜内的中部连通，所述烘烤工作区内设有工作区感温器，进风管内设有进气感温器，排风系统的风门处设有风门定位器，工作区感温器、进气感温器、风门定位器、排风系统的风门驱动马达均连接至控制系统。

优选地，所述热交换组还连接有冰水进出口。

优选地，所述热交换组上设有冷却水循环比例阀，冷却水循环比例阀连接至控制系统。

本发明与现有技术相比，其有益效果在于：

本发明可实现高稳定的等速率升温和降温，等速率数值可自动调整，升温和降温等速率智能自动控制，提高烘烤质量。

附图说明

图1为本发明的等速率升降温烘箱的立体示意图。

图2为本发明的等速率升降温烘箱的内部示意图。

图3为本发明的排风系统的示意图。

具体实施方式

下面结合实施例，对本发明作进一步的描述，但不构成对本发明的任何限制，任何在本发明权利要求范围所做的有限次的修改，仍在本发明的权利要求范围内。

如图1-3所示，本发明提供了一种等速率升降温烘箱，用于半导体行业中晶圆油墨涂布后固化，液晶显示屏玻璃清洗烘干、线路烤固等精密制程，具备可控的等速率升温、降温功能，满足以上行业精密的工艺制程。等速率升降温烘箱包括冷气柜1、电控柜2和位于冷气柜1、电控柜2之间的烘烤工作柜3，冷气柜1内设有依次连接的强制进风机(图中未示出)、空气过滤组4、热交换组5，电控柜2内设有控制系统6，烘烤工作柜3内的上部设有排风系统7、中部设有循环风机8和加热系统9、下部为烘烤工作区10，强制进风机用于炉体进风，空气过滤组4用于保证炉内洁净的环境，热交换组5用于降低进风温度，循环风机8为炉内风循环提供旋转动力，加热系统9用于炉内加热升温。排风系统7一侧通过管道11连接至热交换组5，排风系统7的另一侧连接有进风管12，进风管12的末端与烘烤工作柜3内的中部连通，所述烘烤工作区10内设有工作区感温器13，进风管12内设有进气感温器14，排风系统7的风门15处设有风门定位器16，强制进风机、工作区感温器13、进气感温器14、风门定位器16、排风系统7的风门驱动马达17均连接至控制系统6。工作区感温器13用于监测工作区温度并反馈，进气感温器14用于监测进风温度并反馈。风门驱动马达17用于带动风门旋转，风门定位器16用于定位风门旋转角度。所述热交换组5还连接有冰水进出口18。所述热交换组5上设有冷却水循环比例阀(图中未示出)，冷却水循环比例阀连接至控制系统6，用于调整热交换组5冷却水循环量来控制管道11、进风管12进风温度。

在控制系统设定升温、降温等速率值并启动系统，控制系统根据工作区感温器13侦测到的温度进行自动控制加热系统输出功率，进风系统即强制进风机、空气过滤组4、热交换组5、管道11、进风管12、进气感温器14、冷却水循环比例阀19自动控制进风温度及进风量、排气系统7自动调整开启风门角度改变排风量三大系统相互监测控制来达到工作区稳定的等速率升温；降温时通过同样的控制原理达到工作区稳定的等速率降温。

以上仅是本发明的优选实施方式，应当指出对于本领域的技术人员来说，在不脱离本发明结构的前提下，还可以作出若干变形和改进，这些都不会影响本发明实施的效果和专利的实用性。