[发明专利]衍射光学元件监测装置及方法

权利要求书

1.一种衍射光学元件监测装置，其特征在于，包括：

衍射光学元件(DOE)，由至少一片透明基片刻蚀而成，并且所述透明基片的上表面和/或下表面刻有衍射光栅，用于衍射入射光源发出的光束；

透明导电薄膜，附于所述衍射光学元件的表面，具有电阻属性；

监测控制单元，与所述透明导电薄膜电连接，用于监测所述透明导电薄膜的电阻变化，以判断所述衍射光学元件的完整性并进行相应的安全控制。

2.如权利要求1所述的衍射光学元件监测装置，其特征在于，所述监测控制单元中预设安全阈值区间，当所述透明导电薄膜的电阻超过所述安全阈值区间时，所述监测控制单元进行相应的安全控制。

3.如权利要求2所述的衍射光学元件监测装置，其特征在于，所述安全控制包括发出所述衍射光学元件损坏的风险提示信息或者关闭所述入射光源或者降低所述入射光源的发光功率。

4.如权利要求1-3任一所述的衍射光学元件监测装置，其特征在于，当所述透明基片的上表面或下表面刻有衍射光栅时，所述透明导电薄膜附于所述衍射光栅的表面，或者附于所述透明基片的上表面和下表面，或者附于所述透明基片的整个表面；当所述透明基片的上表面和下表面均刻有衍射光栅时,所述透明导电薄膜附于至少一个所述衍射光栅的表面或者附于所述透明基片的整个表面。

5.如权利要求4所述的衍射光学元件监测装置，其特征在于，所述衍射光学元件由一片透明基片刻蚀而成；其中，所述透明基片的上表面和下表面均刻有衍射光栅。

6.如权利要求4所述的衍射光学元件监测装置，其特征在于，所述衍射光学元件包括垫片和两片透明基片；所述垫片设置在所述两片透明基片之间，用于固定并分隔所述两片透明基片；所述透明基片的上表面或者下表面刻有衍射光栅。

7.如权利要求5或6所述的衍射光学元件监测装置，其特征在于，所述透明导电薄膜通过导线串联或者并联在含有所述监测控制单元的控制电路中。

8.如权利要求4所述的衍射光学元件监测装置，其特征在于，所述衍射光学元件包括垫片、两片或者两片以上的所述透明基片，并且至少一片透明基片的上表面和下表面均刻有衍射光栅；所述垫片设置在所述透明基片之间，用于固定并分隔所述透明基片。

9.如权利要求8所述的衍射光学元件监测装置，其特征在于，所述透明导电薄膜通过导线以并联和/或串联的方式接入含有所述监测控制单元的控制电路中。

10.一种衍射光学元件监测方法，其特征在于，包括以下步骤：

在衍射光学元件(DOE)的表面附上透明导电薄膜，所述透明导电薄膜具有电阻属性，所述衍射光学元件由至少一片透明基片刻蚀而成，并且所述透明基片的上表面和/或下表面刻有衍射光栅，用于衍射入射光源发出的光束；

通过监测所述透明导电薄膜的电阻变化来判断所述衍射光学元件的完整性并进行相应的安全控制。