[发明专利]一种自动化光罩多功能翻转检查机

权利要求书

1.一种自动化光罩多功能翻转检查机，包括检查机主体(1)和二联件(18)，其特征在于：所述检查机主体(1)的上端设置有对称的FFU空气过滤器(8)，且所述FFU空气过滤器(8)与检查机主体(1)紧密固定，所述FFU空气过滤器(8)的顶部设有FFU控制器(10)，且所述FFU控制器(10)的底部与FFU空气过滤器(8)的表面接触，所述FFU空气过滤器(8)的下端设置有第一平衡吊(5)和升降台(6)，且所述第一平衡吊(5)和升降台(6)均与检查机主体(1)的内壁活动连接，所述第一平衡吊(5)的下侧设有第一护罩(9)，且所述第一护罩(9)嵌套设置在检查机主体(1)中，所述第一护罩(9)的右下端设有表面检查射灯电源(4)，所述表面检查射灯电源(4)的上侧设置有操作面板(2)，且所述操作面板(2)与检查机主体(1)电性连接，所述操作面板(2)的外侧安装有洁净室(12)，且所述洁净室(12)与检查机主体(1)通过螺丝固定连接，所述洁净室(12)的上端设置有第一护罩(9)和第一框架(13)，且所述第一护罩(9)与检查机主体(1)的外壁接触，并且所述第一框架(13)嵌入设置在洁净室(12)上，所述洁净室(12)的内部设置有翻转台(16)，且所述翻转台(16)的两端嵌入设置在检查机主体(1)的内壁，所述翻转台(16)的右端设有安全绳拉杆(14)和二联件(15)，所述二联件(15)的上侧设有维修护罩(18)，且所述维修护罩(18)与检查机主体(1)紧密连接，所述维修护罩(18)的一端设置有Case盖板支撑件(21)，且所述Case盖板支撑件(21)与维修护罩(18)活动连接，所述Case盖板支撑件(21)的右侧设有Case(20)，所述Case(20)的右上端设有翻转台支柱(22)，且所述翻转台支柱(22)与检查机主体(1)紧密连接，所述翻转台支柱(22)的一端设有第二护罩(25)。

2.根据权利要求1所述的一种自动化光罩多功能翻转检查机，其特征在于：所述第一护罩(9)的左端设置有翻转驱动(7)，且所述翻转驱动(7)与所述翻转驱动(7)的左侧相接触。

3.根据权利要求1所述的一种自动化光罩多功能翻转检查机，其特征在于：所述洁净室(12)的外侧设置有开关门(11)，且所述开关门(11)贯穿设置在所述洁净室(12)的表面。

4.根据权利要求1所述的一种自动化光罩多功能翻转检查机，其特征在于：所述FFU空气过滤器(8)的右下侧设有电控柜(3)，且所述电控柜(3)嵌入设置在所述检查机主体(1)中。

5.根据权利要求1所述的一种自动化光罩多功能翻转检查机，其特征在于：所述翻转台(16)的上端设有第二框架(17)，且所述第二框架(17)与翻转台(16)相离。

6.根据权利要求1所述的一种自动化光罩多功能翻转检查机，其特征在于：所述维修护罩(18)的左下端设置有第二平衡吊(19)，且所述第二平衡吊(19)与所述洁净室(12)紧密连接。

7.根据权利要求1所述的一种自动化光罩多功能翻转检查机，其特征在于：所述翻转台支柱(22)的左下侧设置有连接器(23)，且所述连接器(23)与所述检查机主体(1)相连。

8.根据权利要求1所述的一种自动化光罩多功能翻转检查机，其特征在于：所述检查机主体(1)的下侧设有Power Base(24)，且所述Power Base(24)与检查机主体(1)固定连接。

9.根据权利要求1所述的一种自动化光罩多功能翻转检查机，其特征在于：所述第二护罩(25)的右端设有翻转驱动机构(26)，且所述翻转驱动机构(26)与第二护罩(25)紧密接触。