[发明专利]光学量测装置

说明书

一种光学量测装置，用以量测一光源发射的光束。光学量测装置包含收光元件、至少四感光元件、分光装置与至少一透镜。收光元件用以接收光束。感光元件分别用以感测光束的光场。各感光元件至光源之间的光路距离皆不同。分光装置用以将通过收光元件的光束分束并分别导引至感光元件。透镜置于至少一感光元件与收光元件之间。透镜用以将通过收光元件的光束成像于至少一感光元件上。光学量测装置依据感光元件的量测值计算光束的光学特性参数。在上述实施方式中，因以至少四个感光元件于同一时间量测不同距离的光场，可排除时间与震动所引起的量测误差，因此可兼具省时与提高准确度的目的。

技术领域

本揭露是有关于一种光学量测装置。

背景技术

随着半导体技术的进展，高功率及高光效率的光源已可被实现，例如激光。激光甚至可逐步地取代白炽灯泡或荧光灯管。激光光束具有良好的准直性及较高的功率与光强度，因此激光在现代工业上有着很广范的应用。然而，在使用激光前，通常需得知该激光的光学特性，例如光腰大小、发散角、数值孔径、光束品质因子与/或其他特征，因此需由量测工具针对其特性做测量与分析。

发明内容

本揭露提供一种光学量测装置，用以量测一光源发射的光束。光学量测装置包含收光元件、至少四感光元件、分光装置与至少一透镜。收光元件用以接收光束。感光元件分别用以感测光束的光场。各感光元件至光源之间的光路距离皆不同。分光装置用以将通过收光元件的光束分束并分别导引至感光元件。透镜置于至少一感光元件与收光元件之间。透镜用以将通过收光元件的光束成像于至少一感光元件上。光学量测装置依据感光元件的量测值计算光束的光学特性参数。

在一或多个实施方式中，感光元件包含第一感光元件、第二感光元件、第三感光元件与第四感光元件，且分光装置包含第一分光元件、第二分光元件与第三分光元件。第一分光元件用以将通过收光元件的光束分束为第一子光束与第二子光束。第二分光元件用以将第一子光束分束为第三子光束与第四子光束，并分别将第三子光束与第四子光束导引至第一感光元件与第二感光元件。第三分光元件用以将第二子光束分束为第五子光束与第六子光束，并分别将第五子光束与第六子光束导引至第三感光元件与第四感光元件。

在一或多个实施方式中，第二分光元件与第三分光元件分别位于第一分光元件的不同侧。

在一或多个实施方式中，感光元件包含第一感光元件、第二感光元件、第三感光元件与第四感光元件，且分光装置包含第一分光元件、第二分光元件与第三分光元件。第一分光元件用以将通过收光元件的光束分束为第一子光束与第二子光束，并将第一子光束导引至第一感光元件。第二分光元件用以将第二子光束分束为第三子光束与第四子光束，并将第三子光束导引至第二感光元件。第三分光元件用以将第四子光束分束为第五子光束与第六子光束，并分别将第五子光束与第六子光束导引至第三感光元件与第四感光元件。

在一或多个实施方式中，第一分光元件、第二分光元件与第三分光元件沿一直线排列。

在一或多个实施方式中，透镜置于分光装置与收光元件之间。

在一或多个实施方式中，透镜的数量为多个，且所述多个透镜分别置于分光装置与感光元件之间。

在一或多个实施方式中，所述多个透镜与收光元件之间的光路距离皆相同。

在一或多个实施方式中，三所述感光元件置于光源的光束通过收光元件与透镜后的成像端的瑞利长度的长度范围内。

在一或多个实施方式中，一所述感光元件置于光源的光束通过收光元件与透镜后的成像端的瑞利长度的长度范围外。

在上述实施方式中，因以至少四个感光元件于同一时间量测不同距离的光场，可排除时间与震动所引起的量测误差，因此可兼具省时与提高准确度的目的。

附图说明

图1为本揭露一实施方式的光学量测装置与光源的示意图；