[发明专利]一种静压支承工作台油膜厚度控制方法

权利要求书

1.本发明提供一种静压支承工作台油膜厚度控制方法，通过反馈信号控制伺服电机转速来调节静压支承工作台的油膜厚度，变被动控制油膜厚度为伺服电机的主动控制油膜厚度调节方式；本发明需要一套供油装置，液压系统原理如图1所示，电动机带动油泵将润滑油通过液压装置流入各个静压油腔中形成油膜；静压支承工作台油膜厚度恒定的控制方法如图2所示，伺服电机6带动油泵2将润滑油通过粗滤油器1、精滤油器3、溢流阀4、经单向阀5流入静压油腔，形成足够压力的润滑油膜将工作台10浮起，由油液的静压力支承外载荷；通过电涡流位移传感器9实时测量工作台间隙油膜厚度，将此信号送入运算放大器8和PI调节器7进行处理，将反馈信号作用到伺服电机上，伺服电机会将此信号转化为转矩和转速来调节油泵供油量，实现油膜厚度主动及精确控制。