[发明专利]一种八通道六氟化硫动态配气方法及系统

权利要求书

1.一种八通道六氟化硫动态配气方法，其特征在于，所述方法步骤如下：

S1：配制单组分标准气，计算原料气和稀释气的流量比；

S2：混合多组分标准气，计算多组分中各组分的原料气流量和稀释气流量的流量比；

S3：计算混合标准气中各组分气体的实际浓度值。

2.如权利要求1所述的八通道六氟化硫动态配气方法，其特征在于，步骤S1中配制单组份标准气的具体流程如下：

以高纯氮气N₂作为稀释气，使用浓度为s的原料气G，配制浓度为c的标准气体，则稀释比

计算可得到原料气G和稀释气N₂的流量比应为：

fG:fN2=m:(1-m)---(1).]]>

3.如权利要求2所述的八通道六氟化硫动态配气方法，其特征在于，步骤S2中混合多组分标准气的具体流程如下：

配制多组分标准气时，原料气G₁…G_k的浓度分别为s₁…s_k，需要配制各组分浓度分别为c₁…c_k；

混合标准气时，则组分气体G_i的稀释比其中i:1…k；由式(1)导出计算，可求得各组分原料气的流量和稀释气N₂流量的流量比为：

fG1:...:fGk:fN2=m1:...:mk:(1-Σi=1kmi)---(2).]]>