[发明专利]一种可调节网状镀膜校正板

说明书

技术领域

本发明涉及镀膜技术领域，具体为一种可调节网状镀膜校正板。

背景技术

在真空镀膜中，蒸镀源（靶材）正上方的蒸发物浓度最高，导致镀膜基板上的薄膜厚度从中间到边缘出现不一致的现象，目前厚度均匀的薄膜获得通常是通过基板旋转架和膜厚修正板来解决，在镀膜基板架与蒸镀源之间设置一修正板，通过修正板来遮挡蒸镀源正上方的蒸发物，以减少蒸镀源正上方基板玻璃膜层的厚度，传统的镀膜修正版不可调节角度位置，致使在使用时极为不便，需制造不同类别的镀膜修正版来满足使用需求。

经检索中国专利授权号CN 205501404 U，授权公告2016.08.24公开了一种可调节的镀膜修正板，包括修正板、直角螺杆、螺母、钢板带A、钢板带B、转轴、螺杆，所述修正板一端与直角螺杆一端连接，直角螺杆另一端安装在钢板带A上，所述钢板带A一端与钢板带B垂直连接，所述钢板带B安装在镀膜仓内的支撑架上。

现有技术中的一种可调节的镀膜修正板存在以下不足之处：镀膜修正板是整面都是实心的，对于镀制大尺寸玻璃时，不能保证工件的各个部分镀膜速率一致，工件中心部分的镀膜不能保证其均匀性，致使合格率较低，且整体通过螺杆固定在镀膜仓上，连接不稳定，校正板与钢板带A不能实现竖直面上的转动调节。

发明内容

（一）解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种可调节网状镀膜校正板，解决了传统镀膜校正板在修正镀膜件特别是大尺寸镀膜件中心位置镀膜厚度时膜厚不均，致使合格率低的问题。

（二）技术方案

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种可调节网状镀膜校正板，包括钢丝网、校正板本体、第一钢板带、第二钢板带和安装板，所述钢丝网固定在校正板本体左侧，所述校正板本体背部固定有第三套筒，所述校正板本体背部的第三套筒通过固定螺栓安装在连杆左端的螺丝孔内，所述连杆右端安装有固定螺栓，所述连杆右端的固定螺栓依次穿过垫板和第一钢板带固定在滑块上，所述第一钢板带底部固定有第一套筒，所述第一套筒通过紧固螺栓安装在第二钢板带左端的第二套筒上，所述第二钢板带设置在安装板上的凹槽内，所述第二钢板带通过固定螺栓安装在凹槽底部的固定孔内。

优选的，所述第一钢板带设置在滑块和垫板之间，所述垫板设置在第一钢板带上方，所述滑块设置在第一钢板带背部。

优选的，所述第一钢板带与第二钢板带之间呈九十度。

优选的，所述第一套筒和第二套筒之间设置有垫片，所述第三套筒与连杆左端之间设置有垫片。

优选的，所述安装板上下两侧均设置有安装孔。

（三）有益效果

本发明提供了一种可调节网状镀膜校正板，具备以下有益效果：

（1）本发明通过在朝向镀膜室中心的校正板本体一侧加装钢丝网，对于镀制大尺寸玻璃时，可有效提高工件中心部分的镀膜均匀性，从而提高合格率。

（2）本发明通过在校正板本体背部设置第三套筒，使得校正板本体可根据使用需求沿着连杆进行转动调节，使用方便，在第三套筒和连杆的连接面安装垫片提高连接紧密度，防止使用时发生松动，第一钢板带和第二钢板带通过第一套筒和第二套筒进行连接，在使用时可根据镀膜的条件进行相应的转动调节。

（3）本发明连杆和第一钢板带以及安装板和第二钢板带采用固定螺栓进行固定连接，在使用时可根据使用情况调节连杆在第一钢板带以及第二钢板带在安装板上的相对位置来实现纵轴和竖轴两个方向上的调节，将整个部件通过安装板固定在镀膜室上，相比与传统的固定方式更加稳定，调节更加方便。

附图说明

图1为本发明整体结构示意图；

图2为本发明校正板本体与第一钢板带内部连接结构示意图；

图3为本发明安装板结构示意图。

图中：1钢丝网、2校正板本体、3连杆、4固定螺栓、5垫板、6第一钢板带、7第一套筒、8第二套筒、9紧固螺栓、10第二钢板带、11安装板、12第三套筒、13滑块、14固定孔、15凹槽、16安装孔。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。