[发明专利]一种安全性更好的硅棒生产用真空炉

权利要求书

1.一种安全性更好的硅棒生产用真空炉，包括隔温套筒（2）、水冷管（5）、泄压口（7）和出压口（15），其特征在于：所述隔温套筒（2）安装在真空炉本体（1）上，且隔温套筒（2）的内部设置有真空层（3），所述水冷管（5）通过固定件（4）和真空炉本体（1）相互连接，且水冷管（5）的两端均和通水管（6）相互连接，所述泄压口（7）设置在真空炉本体（1）的右侧，且泄压口（7）和固定底座（8）相互连接，所述固定底座（8）的左端设置有进压口（9），且固定底座（8）的内侧设置有阀门块（10），所述阀门块（10）的右侧通过连接横杆（11）和固定套筒（12）相互连接，且固定套筒（12）的内部固定有弹性组件（13），所述连接横杆（11）的外侧安装有支撑筒（14），所述出压口（15）安装在固定底座（8）上。

2.根据权利要求1所述的一种安全性更好的硅棒生产用真空炉，其特征在于：所述隔温套筒（2）和真空炉本体（1）为一体化结构。

3.根据权利要求1所述的一种安全性更好的硅棒生产用真空炉，其特征在于：所述固定件（4）和真空炉本体（1）呈90°夹角分布，且固定件（4）和真空炉本体（1）为焊接。

4.根据权利要求1所述的一种安全性更好的硅棒生产用真空炉，其特征在于：所述水冷管（5）共设置有2个，且2个水冷管（5）为平行分布。

5.根据权利要求1所述的一种安全性更好的硅棒生产用真空炉，其特征在于：所述连接横杆（11）和固定套筒（12）组成伸缩机构，且连接横杆（11）和阀门块（10）为热粘接，同时阀门块（10）为橡胶材料。

6.根据权利要求1所述的一种安全性更好的硅棒生产用真空炉，其特征在于：所述支撑筒（14）和固定底座（8）为密封连接，且固定底座（8）和泄压口（7）为螺纹连接。