[发明专利]双频带圆偏振选择器及其制备方法

权利要求书

1.一种双频带圆偏振选择器，其特征在于，包括：

介质衬底；

设置在所述介质衬底上的介质板，所述介质板与所述介质衬底各自所在的平面之间具有夹角；

设置在所述介质板的表面上的金属开口谐振环，所述金属开口谐振环具有两个臂，所述两个臂限定了开口；以及

设置在所述介质衬底上的金属天线。

2.根据权利要求1所述的双频带圆偏振选择器，其特征在于，所述开口靠近所述介质衬底。

3.根据权利要求2所述的双频带圆偏振选择器，其特征在于，所述金属天线的一端与所述金属开口谐振环的两个臂之一的端部相连接。

4.根据权利要求1所述的双频带圆偏振选择器，其特征在于，所述介质衬底具有相对设置的第一表面和第二表面，所述介质板设置在所述介质衬底的第一表面上，所述金属天线设置在所述介质衬底的第二表面上。

5.根据权利要求4所述的双频带圆偏振选择器，其特征在于，所述介质板通过折叠所述介质衬底的一部分而形成，以使得所述介质衬底具有与所述介质板的形状相同的通光口。

6.根据权利要求1所述的双频带圆偏振选择器，其特征在于，所述金属天线呈直线状。

7.根据权利要求1所述的双频带圆偏振选择器，其特征在于，所述夹角为20°～160°。

8.根据权利要求7所述的双频带圆偏振选择器，其特征在于，所述夹角为70°～110°。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的双频带圆偏振选择器，其特征在于，所述金属开口谐振环和金属天线的厚度相同，且为30纳米～500纳米。

10.根据权利要求1至8中任一项所述的双频带圆偏振选择器，其特征在于，所述介质衬底和介质板的厚度相同，且为40纳米～3微米。

11.根据权利要求 1至8中任一项所述的双频带圆偏振选择器，其特征在于，所述金属开口谐振环和金属天线的材质为金、银、铂、铝或铜。

12.一种用于双频带圆偏振选择器的制备方法，其特征在于，包括下列步骤：

步骤1)，利用自对准工艺在介质衬底的上表面和下表面形成形状相同且相互对准的上光刻胶图形和下光刻胶图形；

步骤2)，在所述上光刻胶图形中沉积牺牲层，在所述下光刻胶图形中沉积金属，去除所述上光刻胶图形和下光刻胶图形；

步骤3)，利用聚焦能束辐照所述介质衬底及其上的牺牲层诱导折叠所述介质衬底的一部分以形成介质板、设置在所述介质板的表面上的金属开口谐振环和设置在所述介质衬底上的金属天线，所述金属开口谐振环具有两个臂，所述两个臂限定了开口；

步骤4)，去除所述牺牲层。