[发明专利]一种沉积在硬质合金表面的金刚石薄膜

权利要求书

1.一种沉积在硬质合金表面的金刚石薄膜的制备原料包括：YG3、YG6、YG10、YG13硬质合金。

2.根据权利要求1所述的沉积在硬质合金表面的金刚石薄膜，其特征是沉积在硬质合金表面的金刚石薄膜的制备步骤为：将原料按实验设计方案称重、配料，配好后对4种硬质合金分别进行化学脱钴处理及超声波清洗，然后采用热丝化学气相沉积法进行镀层的沉积，沉积真空度设置为10^-5Pa。

3.根据权利要求1所述的沉积在硬质合金表面的金刚石薄膜，其特征是沉积在硬质合金表面的金刚石薄膜的检测步骤为：涂层硬度采用MH-6型维氏硬度计测试，表面形貌采用KY2800型扫描电镜和Siri00场发射扫描电镜观察，界面结合力采用MFT-4000型多功能材料表面性能试验机，化学成分分析采用能谱仪分析，附着性能采用压痕法表征。

4.根据权利要求1所述的沉积在硬质合金表面的金刚石薄膜，其特征是所述的沉积在硬质合金表面的金刚石薄膜，化学脱钴处理能有效降低硬质合金表面的Co含量，该方法对Co的去除更为彻底，对涂层的力学性能提升具有主要作用，进过化学脱钴处理的金刚石薄膜结构致密，缺陷较少，力学性能优异，所述的沉积在硬质合金表面的金刚石薄膜，钴含量的降低能够抑制沉积过程中晶粒的异常长大，因此，经过二步法脱钴处理的硬质合金薄膜具有良好的附着性能，所述的沉积在硬质合金表面的金刚石薄膜，化学脱钴处理能够抑制Co在高温下向表层扩散迁移，并防止其在硬质合金基体中产生聚积。