[发明专利]快速响应薄膜压力传感器及其制造方法

权利要求书

1.一种快速响应薄膜压力传感器，包括敏感芯体(1)、基座(2)、套在所述基座(2)上方的外壳(3)组成，其特征在于：所述基座(2)下端外部开有与被测介质管道机械咬合的下螺纹(10)，下端内部开有与所述敏感芯体(1)吻合的基座凸台(12)，上端外部开有与所述外壳(3)吻合的上螺纹(9)，中部外侧设计有六角头(19)；所述六角头(19)上方内侧设计有安装密封圈(17)的密封槽(16)；所述外壳(3)下端内侧设计有与所述基座(2)的上螺纹(9)吻合的内螺纹(8)，所述外壳(3)上端中心位置开有过线通孔(20)，所述外壳(3)顶部通过咬合螺纹(15)安装有锁紧塞(14)。

2.如权利要求1所述的快速响应薄膜压力传感器，其特征在于：所述敏感芯体(1)上部外周设计有芯体凸台(13)，所述芯体凸台(13)上安装有支撑电路板(7)的电路支架(6)；所述敏感芯体(1)的输入输出信号通过内引线(4)焊接在所述电路板(7)的焊盘上，然后通过外引线(5)穿过所述过线通孔(20)向外引出；当压力作用于所述敏感芯体(1)时，所述敏感芯体(1)受力部位发生形变，输出与所受压力成比例的电信号。

3.如权利要求1至2任一项所述的快速响应薄膜压力传感器，其特征在于：所述敏感芯体(1)是采用溅射薄膜技术制造的压力敏感元件。

4.如权利要求1至3任一项所述的快速响应薄膜压力传感器，其特征在于：所述敏感芯体(1)开口部位(18)加工成喇叭型。

5.如权利要求1所述的快速响应薄膜压力传感器，其特征在于：所述外壳(3)与所述基座(2)通过螺纹咬合拧紧正好压实所述密封圈(17)形成一个密封的整体。

6.一种快速响应薄膜压力传感器制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1.使用金属棒材，采用机械加工方法，加工出下端带有基座凸台(12)、下螺纹(10)，上端带有上螺纹(9)，中部外侧加工有六角头(19)，所述六角头(19)上方内侧加工有安装密封圈(17)的密封槽(16)的基座(2)；

S2.采用机械加工的方法，加工出上部中心位置开有过线通孔(20)、咬合螺纹(15)，下部加工有内螺纹(8)的外壳(3)；

S3.利用离子束溅射薄膜技术和压力传感器芯体加工技术，加工敏感芯体(1)；

S4.将加工好的所述电路板(7)安装在所述电路支架(6)上；

S5.将所述电路支架(6)焊接在所述敏感芯体(1)上方的芯体凸台(13)位置；

S6.通过金丝球焊的方法，将所述敏感芯体(1)的焊盘与所述电路板(7)的焊盘利用金丝连接；

S7.将所述外引线(5)焊接在所述电路板(7)的焊盘上；

S8.将所述敏感芯体(1)的芯体凸台(13)及所述敏感芯体(1)外圆周均匀涂敷强力胶(11)，然后嵌入所述基座凸台(12)，二者压实老化形成一个坚固的密封整体；

S9.将外引线(5)穿过外壳(3)的过线通孔(20)。

S10.将所述外壳(3)与基座(2)通过内螺纹(8)和上螺纹(9)吻合拧紧并压实密封圈(17)；

S11.将锁紧塞(14)通过咬合螺纹(15)拧紧，锁紧外引线(5)，得到快速响应薄膜压力传感器。