[发明专利]超高温压力传感器及其制造方法

权利要求书

1.一种超高温压力传感器，包括中心带有引压孔(101)、下部带有外螺纹(102)、上部带有散热片(103)的引压件(1)，位于所述引压件(1)上方且通过第一内圆周焊(1B)密封焊接的导压件(2)，位于所述导压件(2)外周的散热环(3)，位于所述导压件(2)上方且通过第三内圆周焊(2C)密封焊接的压力芯体(4)，下端通过第二外圆周焊(2A)密封焊接的外壳(7)组成，其特征在于：所述导压件(2)是一种上部中心位置开有上部中心引压孔(24)，下部中心位置开有与所述上部中心引压孔(24)不贯通的下部中心引压孔(25)，中部外周开有导压槽(22)，下部开有与所述下部中心引压孔(25)和所述导压槽(22)贯通的下导压孔(21)，上部开有与所述上部中心引压孔(24)和所述导压槽(22)贯通的上导压孔(23)的圆柱体。

2.如权利要求1所述的超高温压力传感器，其特征在于：所述压力芯体(4)上端外圆周焊接有支撑转换电路板(6)的电路支架(5)；所述压力芯体(4)是采用溅射薄膜技术制造的耐高温的压力敏感芯体，当压力通过所述引压孔(101)流经所述导压件(2)并作用于所述压力芯体(4)时，所述压力芯体(4)受力部位发生形变，输出与所受压力成比例的电信号；所述电信号通过内引线(8)和外引线(9)向外输出。

3.如权利要求1所述的超高温压力传感器，其特征在于：所述散热环(3)是一个套在所述导压件(2)外，上端与所述导压件(2)齐平且通过第二内圆周焊(2B)密封焊接，下端与所述引压件(1)通过第一外圆周焊(2A)密封焊接的空心圆形热的良导体。

4.如权利要求1所述的超高温压力传感器，其特征在于：所述外引线(9)是一种高温导线。

5.一种超高温压力传感器的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1.使用金属棒材，采用机械加工方法，加工出带有引压孔(101)、外螺纹(102)、散热片(103)的引压件(1)；

S2.采用机械加工的方法，加工出上部中心位置开有上部中心引压孔(24)，下部中心位置开有与所述上部中心引压孔(24)不贯通的下部中心引压孔(25)，中部外周开有导压槽(22)，下部开有与所述下部中心引压孔(25)和所述导压槽(22)贯通的下导压孔(21)，上部开有与所述上部中心引压孔(24)和所述导压槽(22)贯通的上导压孔(23)的导压件(2)；

S3.利用离子束溅射薄膜技术和压力传感器芯体加工技术，加工压力芯体(4)；

S4.利用机械加工方法，加工散热环(3)和外壳(7)；

S5.将所述导压件(2)与所述引压件(1)中心对齐且通过第一内圆周焊(1B)密封焊接；

S6.将所述压力芯体(4)与所述导压件(2)中心对齐且通过第三内圆周焊(2C)密封焊接；

S7.将所述散热环(3)套在所述导压件(2)外，上端与所述导压件(2)齐平且通过第二内圆周焊(2B)密封焊接，下端与所述引压件(1)通过第一外圆周焊(1A)密封焊接；

S8.将加工好的所述转换电路板(6)安装在所述电路支架(5)上；

S9.将所述电路支架(5)焊接在所述压力芯体(4)上方的凸台位置；

S10.通过金丝球焊的方法，将所述压力芯体(4)的焊盘与所述转换电路板(6)的焊盘利用金丝连接；

S11.将所述外引线(9)焊接在所述转换电路板(6)的焊盘上；

S12.将所述外壳(7)下端通过第二外圆周焊(2A)与所述散热环(3)密封焊接，得到超高温压力传感器。