[发明专利]一种低散射损耗交叉波导及其制造方法

权利要求书

1.一种低散射损耗交叉波导，其特征在于：包括相互交叉的第一波导与第二波导，第一波导与第二波导均具有芯层与包层，定义第一波导与第二波导在交叉点前的部分均为输入波导部分，位于交叉点后的部分均为输出波导部分；

所述第一波导和/或第二波导的芯层上间隔设置有至少两组微扰结构，至少一组微扰结构位于输入波导部分，至少一组微扰结构位于输出波导部分；

输入波导部分的微扰结构将基模激发为一个或多个高阶模，使得模场振幅的聚焦发送在交叉点的中心位置处，输出波导的微扰结构将高阶模的能量重新分配至基模中，使得信号功率集中在基模中。

2.根据权利要求1所述的低散射损耗交叉波导，其特征在于：每组微扰结构包括两个设置在波导芯层相对两个壁面的微扰结构，每个微扰结构为：芯层壁面向芯层轴向中心线方向凹进或向包层方向凸起的结构。

3.根据权利要求2所述的低散射损耗交叉波导，其特征在于：两两凹进结构或两两凸起结构沿波导轴向中心线对称设置；

输入波导部分与输出波导部分的微扰结构关于交叉点对称或各输入波导部分和输出波导部分的微扰结构与交叉点的距离相同。

4.一种制造权利要求1-3任一所述的低散射损耗交叉波导的方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一：通过仿真结果，调整微扰结构的参数，所述参数包括微扰结构的几何结构及距离交叉点的距离，使得交叉波导的散射损耗达到最小；

步骤二：根据仿真调整后的参数，加工波导芯层及微扰结构。