[发明专利]一种基于MEMS压力传感器的亚微米精度气动微距仪

权利要求书

1.一种基于MEMS压力传感器的亚微米精度气动微距仪，包括壳体，其特征在于：所述壳体内设置有气腔单元、气压采集单元、信号处理单元、显示单元和发送单元,所述气腔单元前端设置有进气孔，后端设置有出气孔、分压出气孔和漏气孔，所述各孔分别通过气路与气压采集单元相连，所述气压采集单元包括一组MEMS压力传感器，所述MEMS压力传感器通过采集进气孔、出气孔和分压出气孔的气压，信号处理单元根据进气孔的气压值出气孔和分压出气孔的压差计算出待测距离数值，并通过显示单元和发送单元显示和输出测量数据和计算结果。

2.如权利要求1所述的亚微米精度气动微距仪，其特征在于：所述信号处理单元包括中央处理器和外围电路，通过与MEMS压力传感器通讯控制并接收、转化采集的各气压数据，并依照设定的数学模型进行运算。

3.如权利要求2所述的亚微米精度气动微距仪，其特征在于：所述信号处理单元通过与显示单元和发送单元通讯，进行运算结果的显示和输出。

4.如权利要求3所述的亚微米精度气动微距仪，其特征在于：所述显示单元包括显示屏及周边电路，用于将压力和测量数据的显示。

5.如权利要求4所述的亚微米精度气动微距仪，其特征在于：所述发送单元包括编码和通讯电路，用于将测量数据及测量运算结果的输出，以及与外部设备交互数据。

6.如权利要求5所述的亚微米精度气动微距仪，其特征在于：所述气腔单元、气压采集单元、信号处理单元、显示单元和发送单元分别封装在壳体内。

7.如权利要求6所述的亚微米精度气动微距仪，其特征在于：所述气腔单元为分离式的分压腔体，分压腔体内的进气压力随出气孔、分压出气孔和漏气孔的分布位置的不同以及各孔径的差异自行分配压力。

8.如权利要求7所述的亚微米精度气动微距仪，其特征在于：所述漏气孔为非平衡漏气结构,并与大气直通。