[发明专利]一种波长可调谐外腔激光器

权利要求书

1.一种波长可调谐外腔激光器，其特征在于：其包括沿光路依次设置的激光增益芯片、准直透镜、光程补偿片、第一可调滤波器、第二可调滤波器、部分反射镜、光隔离器、会聚透镜和接收光纤，所述部分反射镜的部分反射面与激光增益芯片背部的高反射面形成激光谐振腔，所述外腔激光器通过控制第一可调滤波器和第二可调滤波器实现对单一波长激光的调谐输出。

2.根据权利要求1所述的一种波长可调谐外腔激光器，其特征在于：其还包括用于监控激光器输出功率的光电探测器。

3.根据权利要求1所述的一种波长可调谐外腔激光器，其特征在于：所述激光增益芯片朝向准直透镜一侧端面镀有增透膜，激光增益芯片的另一侧端面镀有高反射膜形成高反射面，所述高反射膜的反射率大于或等于90%，所述激光增益芯片产生的宽带多通道光束从增透膜一侧端面出射。

4.根据权利要求2所述的一种波长可调谐外腔激光器，其特征在于：所述部分反射镜为玻璃楔角片，部分反射镜的一侧端面上镀有部分反射膜形成部分反射面，部分反射镜的另一侧端面上镀有增透膜；所述光电探测器置于激光增益芯片的背部一侧以接收从激光增益芯片背部出射的光功率。

5.根据权利要求2所述的一种波长可调谐外腔激光器，其特征在于：所述部分反射镜为组合分光镜，该组合分光镜由两块直角棱镜的斜面相互贴合形成，所述组合分光镜的一侧端面镀有部分反射膜形成部分反射面，该部分反射面与激光增益芯片的高反射面形成激光谐振腔；两块直角棱镜相互贴合的斜面上也镀有部分反射膜，所述组合分光镜的另一侧端面和组合分光镜的下端面分别镀有增透膜；所述光电探测器置于组合分光镜的下方以接收从组合分光镜下端面出射的光功率。

6.根据权利要求1所述的一种波长可调谐外腔激光器，其特征在于：所述第一可调滤波器和第二可调滤波器均为标准距元件，该标准距元件材料为热敏材料，对应的调节方式是热调谐方式；或所述标准距元件材料为电光材料，对应的调节方式是电调谐方式。

7.根据权利要求6所述的一种波长可调谐外腔激光器，其特征在于：所述第一可调滤波器和第二可调滤波器的FSR不相同；调谐时将第一可调滤波器和第二可调滤波器的透射峰值波长与需求的输出波长点对齐。

8.根据权利要求1所述的一种波长可调谐外腔激光器，其特征在于：所述光程补偿片为硅材料或锗材料的平行平片，光程补偿片两侧的通光面均镀有增透膜，通过热调谐方式改变补偿片的折射率进行光程补偿。

9.根据权利要求1所述的一种波长可调谐外腔激光器，其特征在于：所述隔离器是单级或双级光隔离器。

10.根据权利要求1所述的一种波长可调谐外腔激光器，其特征在于：所述激光增益芯片镀有增透膜的出光口和接收光纤的端面分别置于准直透镜和会聚透镜的焦点处，准直透镜和会聚透镜的焦距比值与激光增益芯片和接收光纤光束发射角比值成反比。