[发明专利]负载传感器在审
申请号: | 201710977328.2 | 申请日: | 2017-10-19 |
公开(公告)号: | CN107966168A | 公开(公告)日: | 2018-04-27 |
发明(设计)人: | 宫泽冬树;小山胜弘;松田勋;萩原康仁;浜本贵树 | 申请(专利权)人: | 太阳诱电株式会社 |
主分类号: | G01D5/34 | 分类号: | G01D5/34;G01B11/16 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司11322 | 代理人: | 龙淳,季向冈 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 负载 传感器 | ||
1.一种负载传感器,其特征在于,包括:
形变体,其具有第一端部、与所述第一端部在一个轴方向上相对的第二端部、设置在所述第一端部与所述第二端部之间的中空部;
固定在所述第一端部的、并且配置在所述中空部中的第一光学组件,所述第一光学组件具有光源和来自所述光源的光所入射的第一衍射光栅;
固定在所述第二端部的、并且配置在所述中空部中的第二光学组件,所述第二光学组件具有因从所述第一衍射光栅射出的衍射光入射而生成干涉光的第二衍射光栅;
检测所述干涉光的检测器;和
运算部,其基于通过所述检测器得到的信号来计算所述第二衍射光栅相对所述第一衍射光栅的相对位移量。
2.如权利要求1所述的负载传感器,其特征在于:
所述第一衍射光栅和所述第二衍射光栅分别配置在通过所述中空部的中心并且与所述一个轴方向平行的中心轴上。
3.如权利要求2所述的负载传感器,其特征在于:
还包括固定在所述第二端部的、用于载置要测量重量的对象物体的载置台,
所述第一衍射光栅和所述第二衍射光栅配置在所述载置台的重心的正下方的位置。
4.如权利要求1所述的负载传感器,其特征在于:
所述第一衍射光栅和所述第二衍射光栅分别配置在从通过所述中空部的中心并且与所述一个轴方向平行的中心轴在所述形变体的宽度方向上偏离了的位置。
5.如权利要求4所述的负载传感器,其特征在于,还包括:
所述形变体还包括将所述第一端部与所述第二端部彼此连结的、并且隔着所述中空部相对的一对架设部,
所述一对架设部的至少1者在与所述一个轴方向正交的所述形变体的宽度方向上具有不同的厚度。
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