[发明专利]一种多孔硅制备方法在审

专利信息
申请号: 201710977841.1 申请日: 2017-10-19
公开(公告)号: CN107572531A 公开(公告)日: 2018-01-12
发明(设计)人: 麦毅;万文文;吴复忠;李水娥;陈敬波;戴新义 申请(专利权)人: 贵州大学
主分类号: C01B33/021 分类号: C01B33/021
代理公司: 北京联创佳为专利事务所(普通合伙)11362 代理人: 张梅
地址: 550025 贵*** 国省代码: 贵州;52
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摘要:
搜索关键词: 一种 多孔 制备 方法
【权利要求书】:

1. 一种多孔硅制备方法,其特征在于,包括如下步骤 :

(a)量取3-5份的多晶硅粉,依次用氢氟酸、硫酸、乙醇、超纯水离心清洗;

(b)取0.01mol/L-O.O5mol/L硝酸银、20-50份碎冰块、4mol/L-6mol/L氢氟酸和水混合制成50~300份的混合溶液A,将多晶硅粉放入混合溶液A中搅拌反应2-5分钟,得A品;

(c)对A品进行离心清洗,得B品;

(d)取3-6mol/L氢氟酸、0.5%-3%双氧水、8-15份乙醇和水混合制成50~300份混合溶液B,将B品放入混合溶液B中冰浴搅拌腐蚀0.5h-1.5h,得C品;

(e)向C品中滴加0.3mol/L-1.2mol/L硼酸和0.5%-1.5%硝酸继续冰浴搅拌腐蚀0.5h-1.5h,得D品;

(f)用超纯水对D品进行离心清洗,得多孔硅。

2.根据权利要求1所述的一种多孔硅制备方法,其特征在于:所述步骤(a)中的多晶硅粉的颗粒直径为4-15μm。

3.根据权利要求1所述的一种多孔硅制备方法,其特征在于:所述步骤(b)中冰块由超纯水制成。

4.根据权利要求1所述的一种多孔硅制备方法,其特征在于:所述步骤(d)、(e)中冰浴温度为-10℃-10℃。

5.根据权利要求1所述的一种多孔硅制备方法,其特征在于:所述步骤(a)、(c)和(f)中离心清洗的离心转速为3000-6000转/分钟。

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