[发明专利]一种低功率起辉的平板PECVD设备

权利要求书

1.一种低功率起辉的平板PECVD设备，其特征在于：包括反应室（1）、以及设于反应室（1）内的上电极环（2）和下电极环（3），所述上电极环（2）和所述下电极环（3）之间设有调节垫环（4），所述上电极环（2）或所述下电极环（3）上设有用于产生尖端放电的伸缩放电天线（5），所述伸缩放电天线（5）配置有回收驱动件（51）。

2.根据权利要求1所述的低功率起辉的平板PECVD设备，其特征在于：所述回收驱动件（51）为回收驱动气缸或电机执行机构。

3.根据权利要求1至2中任一项所述的低功率起辉的平板PECVD设备，其特征在于：所述反应室（1）侧壁上沿周向均匀安装有多个电子枪（6）。

4.根据权利要求3所述的低功率起辉的平板PECVD设备，其特征在于：所述反应室（1）内设有用于承载工件的载片台（7），所述电子枪（6）包括用于产生热电子的灯丝、以及用于驱动灯丝靠近或远离所述载片台（7）的伸缩驱动件，所述灯丝的电位低于所述载片台（7）。

5.根据权利要求4所述的低功率起辉的平板PECVD设备，其特征在于：所述伸缩驱动件为伸缩驱动气缸或电机执行机构。

6.根据权利要求3所述的低功率起辉的平板PECVD设备，其特征在于：所述反应室（1）上部设有进气管（81），所述上电极环（2）上安装有上匀气板（82），所述下电极环（3）上安装有下匀气板（83），所述反应室（1）下部设有用于将反应室（1）内各处气体均匀抽出的抽气管（84）。

7.根据权利要求4所述的低功率起辉的平板PECVD设备，其特征在于：所述载片台（7）下方设有加热盘（9），所述加热盘（9）内设有加热线圈（91）。