[发明专利]干燥装置

说明书

本发明提供了干燥装置，该干燥装置具有对被处理物进行干燥处理的干燥槽、所述被处理物的固定件、与所述被处理物的表面相对的加热单元、和与所述被处理物的里面相对的加热单元，所述加热单元的长度方向相对于水平线倾斜设置，从而能够抑制被处理物的干燥不均匀等的干燥不良。

技术领域

本发明涉及干燥装置，具体涉及用于对进行了洗净处理的印刷电路板等的被处理物进行干燥处理的干燥装置。

背景技术

印刷电路板等的被处理物的制备工序中，将除胶渣(デスミア)处理等的前处理工序中附着的异物等通过水洗处理等的洗净处理除去之后，进行被处理物的干燥处理。如果不充分除去附着在被处理物的表面上液体，残存的液体将会成为不良原因。虽然延长干燥时间能够充分除去液体并干燥，但是从提高生产效率的观点来看，期望尽可能短时间高效地进行干燥处理。

例如专利文献1中公开了一种干燥装置，该干燥装置在使印刷电路板以垂直悬挂的状态水平移动的同时进行干燥处理。根据该结构，相比将印刷电路板保持在水平状态下进行水平搬运的情况能够更有效率地进行干燥处理。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特開平6-006014号公報

发明内容

即使在如专利文献1那样使印刷电路板等的被处理物以垂直悬挂状态水平移动的同时进行干燥处理的情况，由于距离干燥处理所使用的加热单元(热源)越远被处理物的温度越降低，而产生面内温度差，发生干燥不均匀。

本发明鉴于上述情况，其目的是提供能够抑制被处理物的干燥不均匀等的干燥不良的干燥装置。

解决上述课题而得到的本发明的干燥装置有以下要点，该干燥装置具有对被处理物进行干燥处理的干燥槽、所述被处理物的固定件、与所述被处理物的表面相对的加热单元、以及与所述被处理物的里面相对的加热单元，所述加热单元的长度方向相对于水平线倾斜。

另外，也优选有如下的实施方式：具有与所述被处理物的表面相对的气体喷射单元、和与所述被处理物的里面相对的气体喷射单元，所述气体喷射单元的喷嘴孔朝向斜下方。

进一步地，所述干燥槽也优选有以下任意一种实施方式：具有所述固定件的搬运机构，在底面具有排气口，具有在所述排气口的上方与从所述喷嘴孔喷射的气体碰撞的气体整流板，与所述被处理物相对的面向上方凸出形成为弯曲的形状。

优选地，所述气体喷射单元具有升降机构。

进一步地，本发明的干燥装置具有设置在所述干燥槽的入口侧的前槽和设置在所述干燥槽的出口侧的后槽，本发明还包括，所述前槽以及所述后槽具有与所述被处理物的表面相对的气体喷射单元、和与所述被处理物的里面相对的气体喷射单元，进一步地本发明还包括，所述气体喷射单元设置在与所述被处理物的上部相对的位置或者与下部相对的位置的至少一者。

另外，本发明的干燥装置进一步具有设置在所述前槽的入口侧的预加热槽，所述预加热槽优选具有加热液体喷射单元。

根据本发明的干燥装置，由于设置在干燥槽内的加热单元的长度方向设置为相对于水平线倾斜，能够抑制被处理物的上下方向的干燥不均匀。

附图说明

图1为从上方观察本发明的一种实施方式的干燥装置的俯视图。

图2为从箭头Z方向观察图1的干燥装置的侧视图。

图3为图2的干燥槽的剖视图，即从箭头C方向观察的图。

图4为图2的前槽的剖视图，即从箭头D方向观察的图。

图5为图2的后槽的剖视图，即从箭头E方向观察的图。

图6为图2的预加热槽的剖视图，即从箭头F方向观察的图。