[发明专利]用于冷坩埚制备高纯氧化铝多晶锭的倾斜铸造系统和方法在审
申请号: | 201710978178.7 | 申请日: | 2017-10-18 |
公开(公告)号: | CN107557857A | 公开(公告)日: | 2018-01-09 |
发明(设计)人: | 张清勇;唐皇哉;胡树金 | 申请(专利权)人: | 睿为电子材料(天津)有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/20 |
代理公司: | 天津市鼎和专利商标代理有限公司12101 | 代理人: | 谢宇强 |
地址: | 300382 天津市西青区学*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 坩埚 制备 高纯 氧化铝 多晶 倾斜 铸造 系统 方法 | ||
1.一种用于冷坩埚制备高纯氧化铝多晶锭的倾斜铸造系统,其特征在于:包括冷坩埚、控制冷坩埚旋转的执行机构和模具坩埚,所述冷坩埚位于模具坩埚的一侧,所述执行机构控制冷坩埚旋转使冷坩埚中的熔融液体倾倒在模具坩埚中。
2.根据权利要求1所述的用于冷坩埚制备高纯氧化铝多晶锭的倾斜铸造系统,其特征在于:所述执行机构包括可同时旋转和伸缩的电动缸,固定支架一,固定支架二,悬臂和旋转支架;所述电动缸的电机端的旋转轴一通过轴承铰接在固定支架一上,所述电动缸的伸缩杆端的旋转轴二通过轴承与悬臂的一端铰接,所述悬臂的另一端与旋转轴三的一端固定连接,所述旋转轴三的中部通过轴承铰接在固定支架二铰接,所述旋转轴三的另一端与旋转支架固定连接,所述冷坩埚固定在旋转支架上。
3.根据权利要求1所述的用于冷坩埚制备高纯氧化铝多晶锭的倾斜铸造系统,其特征在于:所述旋转支架围绕旋转轴三的最大旋转角度为60°。
4.根据权利要求1所述的用于冷坩埚制备高纯氧化铝多晶锭的倾斜铸造系统,其特征在于:冷坩埚的放置高度高于模具坩埚的放置高度。
5.根据权利要求1所述的用于冷坩埚制备高纯氧化铝多晶锭的倾斜铸造系统,其特征在于:所述固定支架一和固定支架二一体成型。
6.一种采用权利要求1-5中任一项所述的系统用冷坩埚制备高纯氧化铝多晶锭的倾斜铸造方法,其特征在于,包括如下步骤:
1)待投入冷坩埚中的高纯氧化铝微粉全部形成熔融液体;
2)开启模具坩埚的水冷系统,同时启动电动缸的电机,电动缸同时进行旋转和伸缩运动,电动缸的伸缩杆进行伸缩带动悬臂旋转,悬臂带动旋转轴三旋转,进而带动旋转支架旋转,使冷坩埚中的熔融液体部分倾倒在模具坩埚中;
3)待模具坩埚中的液体完全凝固冷却完毕后取出,得到高纯氧化铝多晶锭产品。
7.根据权利要求6所述的用冷坩埚制备高纯氧化铝多晶锭的倾斜铸造方法,其特征在于,所述步骤3)中,制备的高纯氧化多晶锭密度可达3.7g/cm3。
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