[发明专利]压电元件、多层压电元件、排液头、排液装置、超声波马达、光学装置和电子装置

权利要求书

1.压电材料，包括：

由通式(1)表示的钙钛矿型金属氧化物，

(Ba_1-xCa_x)_a(Ti_1-yZr_y)O₃ (1)，其中1.000≤a≤1.010，0.020≤x≤0.300，0.020≤y≤0.095，和y≤x；和

Mn，

其中相对于100重量份的该钙钛矿型金属氧化物，Mn含量为0.02重量份-0.40重量份，

其中该钙钛矿型金属氧化物的晶粒具有1μm-10μm的平均圆当量直径，

其中该压电材料具有93％-100％的相对密度，和

其中该压电材料的压电常数d₃₃为110pC/N以上。

2.根据权利要求1的压电材料，其中相对于100重量份的该钙钛矿型金属氧化物，除了Mn和该钙钛矿型金属氧化物以外的辅助成分的含量为0.0-1.2重量份，基于氧化物。

3.根据权利要求1的压电材料，其中该压电材料的相对密度为93％-98.7％。

4.根据权利要求3的压电材料，其中相对于100重量份的该钙钛矿型金属氧化物，除了锰和该钙钛矿型金属氧化物以外的辅助成分含量为0.0－1.2重量份，基于氧化物。

5.根据权利要求1－4中任一项的压电材料，其中相对于100重量份的该钙钛矿型金属氧化物，Mn含量为0.02重量份-0.30重量份。

6.根据权利要求1或2的压电材料，其中该压电材料的主要成分中的x和y分别满足0.125≤x≤0.175和0.055≤y≤0.09，并且相对于100重量份的该钙钛矿型金属氧化物，锰含量为0.02重量份-0.10重量份，基于金属。

7.根据权利要求1或2的压电材料，其中压电材料的主要成分中的x和y分别满足0.155≤x≤0.300和0.041≤y≤0.069，并且相对于100重量份的该钙钛矿型金属氧化物，锰含量为0.12重量份-0.40重量份，基于金属。

8.压电元件，包括：

第一电极；

第二电极；和

根据权利要求1或2的压电材料。

9.多层压电元件，包括：

压电材料层；和

电极，

其中将该压电材料层和该电极交替地层叠，并且

该压电材料层含有根据权利要求1或2的压电材料。

10.排液头，包括：

液室，该液室包括振动单元，该振动单元包括根据权利要求8的压电元件或根据权利要求9的多层压电元件；和

与该液室连通的排出口。

11.排液装置，包括：

用于输送记录介质的输送单元；和

根据权利要求10的排液头。

12.超声波马达，包括：

换能器，其包括根据权利要求8的压电元件或根据权利要求9的多层压电元件；和

与振动部件接触的移动部件。

13.光学装置，包括：

驱动单元，该驱动单元包括根据权利要求12的超声波马达。

14.电子装置，包括：

压电声部件，其包括根据权利要求8的压电元件或根据权利要求9的多层压电元件。