[发明专利]蒸发源装置以及溅射镀膜设备

说明书

技术领域

本发明属于真空溅射镀膜技术领域，尤其涉及一种蒸发源装置以及溅射镀膜设备。

背景技术

蒸发源装置包括具有蒸发腔的蒸发箱以及置于蒸发腔内的坩埚，蒸发箱于其侧壁开设于蒸发腔连通与真空镀膜室对接的出料口，坩埚开设有开口朝上设置并用于存放药液的存药腔，其中，在蒸发镀膜作业过程中，首先，药液放置于坩埚，其次，加热药液，药液气化，并气态药液要向蒸上运动之后，才能到达出料口，这样，导致药液存在一定的浪费。

发明内容

本发明的目的在于克服上述现有技术的不足，提供了一种蒸发源装置，其旨在解决药液存在浪费的问题。

本发明是这样实现的：一种蒸发源装置，与真空镀膜室配合使用，包括具有蒸发腔的蒸发箱、置于所述蒸发腔内的坩埚，所述坩埚开设有开口朝上设置并用于存放药液的存药腔，所述蒸发箱于其侧壁开设于蒸发腔连通与所述真空镀膜室对接的出料口，所述蒸发源装置还包括用于驱动所述坩埚以使所述坩埚在初始状态和蒸镀状态之间切换的驱动机构，所述坩埚在初始状态时所述存药腔腔口朝上设置，而在所述蒸镀状态时所述存药腔腔口朝向所述出料口设置。

可选地，所述驱动机构包括与所述坩埚连接传动轴以及用于驱动所述传动轴以带动所述坩埚在所述初始状态和所述蒸镀状态之间切换的电机，所述电机固定于所述蒸发箱。

可选地，所述传动轴穿过一所述蒸发箱一箱壁，所述电机位于所述蒸发箱外侧。

可选地，所述传动轴一转动端转动连接于所述蒸发箱另一箱壁。

可选地，所述蒸发源装置包括用于连接所述驱动机构和所述坩埚的给进驱动器，所述进驱动器在所述坩埚处于所述蒸镀状态时驱动所述坩埚朝出料口运动以使所述坩埚抵靠所述蒸发腔腔壁。

可选地，所述蒸发箱包括真空放气口、真空抽气口以及供所述药液送入的入料口；

所述蒸发源装置包括设于所述出料口处并用于截断或导通所述蒸发腔和所述真空镀膜室的第一真空阀、设于所述入料口处并用于截断或导通所述蒸发腔与外部的第二真空阀、设于所述真空放气口处的真空放气阀、设于所述真空抽气口处的真空抽气阀以及与所述真空抽气阀连接并在所述真空放气阀关闭、所述真空抽气阀打开时用于将所述蒸发腔抽真空的真空泵。

可选地，所述蒸发源装置包括送料组件，所述送料组件包括一出料管口的引料管、用于存放所述药液的药瓶、用于将所述药液从所述药瓶抽至所述引料管并直至所述药液从所述出料管口溢出的柱塞泵以及用于驱动所述引料管、所述药瓶和所述柱塞泵一并运动且使所述出料管口经所述入料口并到达所述存药腔上方的送料驱动器。

可选地，所述真空放气阀和所述真空抽气阀均位于所述蒸发箱外侧。

可选地，所述出料口为从上往下布置的长条孔设置，所述坩埚和所述驱动机构至少设有两对，一所述驱动机构用于驱动一所述坩埚，各所述坩埚从上往下间隔布置，所述入料口至少设有两个，所述送料组件设有两个，一所述送料组件分布通过一所述入料口来给一所述坩埚供料。

本发明还提供一种溅射镀膜设备，包括上述的蒸发源装置以及与所述蒸发源装置配合使用的蒸镀室。

在使用过程中，首先，将药液放置到坩埚的存药腔，其次，驱动机构驱动坩埚进入蒸镀状态，然后，再利用加热器加热坩埚，以使药液气化。其中，当气化的药液溢出存药腔时，气化的药液将沿着存药腔的腔口开设方向溢出，而由于坩埚在蒸镀状态时，存药腔腔口朝向出料口，从存药腔溢出的气化的药液将沿水平方向直接进入到真空镀膜室，这样，相对于现有技术，减少了气化的药液进入到真空镀膜室的路径，有利于减少药液的浪费。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例提供的蒸发源装置的一视角下的剖视图；

图2是本发明实施例提供的蒸发源装置的另一视角结构下的剖视图。

附图标号说明：